光学轮廓仪是一种基于光学干涉原理的精密测量仪器。其测量原理主要基于白光干涉技术，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法等，对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像。具体过程如下：
光源与分光：光学轮廓仪的光源发出的光经过扩束准直后，经过分光棱镜分成两束光。
反射与干涉：一束光经被测表面反射回来，另一束光经参考镜反射。这两束反射光最终汇聚并发生干涉。
形貌转化为干涉条纹：显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号。
数据处理：通过系统软件对干涉条纹信号进行数据处理与分析，获取反映器件表面质量的2D、3D参数，实现器件表面形貌的3D测量。
优势：
光学轮廓仪相较于其他测量工具，具有显著的优势，主要包括以下几点：
高精度：能够实现亚微米级别的形状和表面粗糙度测量，测量精度高于是其他测量方法的。干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变一个波长(～10^-7米)，因此其测量精度高。
非接触式：采用非接触式测量方法，不会对被测物体造成损伤或变形，特别适用于各种材料、形状和尺寸的物体测量。
大面积快速测量：测量范围为毫米级，XY样品台可达100mm*100mm，能够轻松测量大面积样品。
可视化3D功能：配备强大的处理软件，可以进行表面粗糙度、形状、台阶高度的测量，并支持任意角度移动样品进行3D图形测量，多角度分析样品图像。
高效性：可实现快速高效的测量，并能够完成大批量样品的自动化测量。
使用便捷：只需将样品放在样品台上，即可直接测量，无需更换耗材，只需一个LED光源。
综上所述，光学轮廓仪测量原理和显著的优势，在制造业、医疗设备、半导体和生命科学等多个领域得到广泛应用，为产品质量控制、科学研究和生产过程监测提供了强有力的支持。
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更新时间：2024-05-29
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