白光干涉仪,作为一种高精度的光学测量仪器,广泛应用于科研、工业生产和质量检测等多个领域。它基于光学干涉原理,能够实现对物体表面微观形貌的精确测量,具有测量精度高、操作便捷、功能齐全和测量参数涵盖面广的优点。
白光干涉仪的结构主要包括照明光源系统、光学成像系统、垂直扫描控制系统、数据处理系统和应用软件。照明光源系统通常采用高亮度LED光源,提供稳定、均匀的光源。光学成像系统则负责接收从样品和参考镜反射回来的光线,并形成清晰的图像或干涉条纹。垂直扫描控制系统能够精密驱动显微物镜上下移动,调整焦距和扫描范围。数据处理系统由计算机和数字信号协处理器构成,负责采集和处理原始图像数据。应用软件则提供操作控制、结果显示及后处理功能。
其测量原理是光源发出的光经过扩束准直后,通过分光棱镜被分成两束光,一束投射到被测样品表面,另一束投射到参考镜表面。两束光分别从样品和参考镜表面反射回来,再次通过分光棱镜后汇聚成一束光,并在CCD相机感光面上形成两个叠加的像。由于两束光的光程差不同,它们会在CCD相机上产生明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差,通过分析干涉条纹的明暗度及位置变化,可以解析出被测样品的相对高度或三维形貌。
白光干涉仪的应用范围广泛,包括半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业,以及航空航天、科研院所等领域。它能够测量从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,提供从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等参数,为产品质量控制和科学研究提供了有力支持。
此外,它还具有非破坏性检测的特点,适用于各种材料的检测,包括金属、半导体、光学镜片等。在生命科学和医学领域,它还可以用来观察细胞和组织的形态变化,提高细胞成像的分辨率和清晰度。
综上所述,白光干涉仪以其高精度、高效率和广泛的应用领域,成为现代科研和工业生产中至关重要的光学测量工具。
最后展示几组白光干涉仪外观图片,以便您更好地了解产品。