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泽攸探针台微纳世界的“精密手术刀”与“科学探照灯”

更新时间:2025-07-15点击次数:105
  在半导体芯片尺寸逼近物理极限、纳米材料应用突破传统边界的今天,如何实现微米级甚至纳米级器件的精准测试与操控,成为制约科技创新的关键瓶颈。泽攸凭借自主研发的探针台系列产品,以“三维定位精度达纳米级、环境适应性跨越-196℃至400℃”的核心技术,为微纳电子、光电材料、量子计算等领域提供了从基础研究到产业化的全链条解决方案。
 

 

  一、半导体行业的“质量守门人”
  在晶圆制造环节,泽攸手动探针台系统通过特制热沉设计将温度波动控制在±0.1℃以内,配合高精度微调样品座,可实现0.1μm级落针精度。该系统支持4-8个探针臂同步操作,单轴定位精度达±0.005mm,能同时完成集成电路的电压、电流、电阻及电容特性曲线测试。某国产存储芯片厂商采用该设备后,将晶圆测试良率从92%提升至98.7%,单片晶圆测试时间缩短40%,每年节省检测成本超千万元。
  二、异常环境下的“科学探险家”
  泽攸低温液氮探针台LN-4H-06突破传统测试边界,其真空腔体可达6×10⁻⁴Pa超高真空,变温样品台实现80K至400K宽温域调控。在北京大学核壳填料研究中,该设备在-193℃低温下,通过SEM纳米探针台的单球电气测试功能,精确验证了银微球涂覆氧化铝层后的绝缘性能,电阻值提升6个数量级,为高性能热管理材料开发提供关键数据支撑。
  三、纳米科技的“万能操作台”
  微纳探针台采用压电陶瓷驱动技术,在100mm×100mm行程范围内实现亚纳米级定位,配备的连续变倍显微镜可实现700倍视频放大。在量子点器件研发中,该设备通过光纤探针替换传统电学探针,成功实现单光子发射器的原位表征,将测试效率提升10倍。更值得关注的是,其模块化设计支持快速升级,某科研团队通过加装纳米镊子选件,在真空环境中完成了碳纳米管的机械剥离与电学测试。
  从晶圆厂到国家重点实验室,泽攸探针台已形成覆盖手动、自动、低温、SEM原位等12大系列的产品矩阵,累计服务全球300余家科研机构及企业。在芯片制程迈向2nm、量子计算进入工程化阶段的当下,这些能“在头发丝上雕刻电路”的精密仪器,正持续推动着微纳电子技术的边界拓展。
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