Sensofar共聚焦白光干涉仪：玻璃表面质量的精密检测方案

　　在光学玻璃、电子显示屏、精密仪器制造等领域，玻璃表面质量直接影响产品的光学性能和使用寿命。Sensofar共聚焦白光干涉仪作为先进的三维表面形貌测量设备，凭借其独特的多技术融合优势，为玻璃表面质量检测提供了高精度、非接触式的解决方案。

　　一、核心技术优势

　　Sensofar设备创新性地整合了共聚焦显微镜、白光干涉仪和相位差干涉三大技术，通过智能软件实现无缝切换：

　　1.白光干涉模式：针对玻璃等光滑表面（如光学镜片、手机盖板），提供纳米级垂直分辨率，可精确测量表面粗糙度Ra值至0.1nm级别

　　2.共聚焦技术：在测量玻璃边缘或带微结构的表面时（如3D曲面玻璃），保持70°斜面测量能力，横向分辨率达0.10μm

　　3.相位差干涉：对超光滑玻璃基板（如半导体晶圆）实现亚纳米级精度检测

　　其自有的真彩色共聚焦成像技术，通过RGB三色LED照明还原真实色彩，便于识别玻璃表面的微观缺陷。

　　二、玻璃检测典型应用

　　1.光学玻璃质量管控

　　①测量透镜表面的PV值（峰谷值）和RMS粗糙度；

　　②检测镀膜前基板的平整度；

　　③识别抛光过程中的划痕、麻点等缺陷（分辨率达亚微米级）。

　　2.电子玻璃表面分析

　　①检测手机/平板盖板玻璃的边缘倒角曲率；

　　②测量ITO导电膜的涂层均匀性；

　　③评估钢化玻璃的应力纹分布。

　　3.特殊工艺验证

　　①测量化学蚀刻玻璃的微结构深度；

　　②分析夹层玻璃中间层的结合界面质量。

　　三、智能检测流程

　　1.样品准备：将玻璃试样置于防震平台，选择合适倍率物镜（5×-150×）；

　　2.模式选择：通过SensoSCAN软件自动匹配测量模式；

　　3.数据采集：5轴系统确保全表面覆盖，尤其适合异形玻璃检测；

　　4.分析输出：自动生成三维形貌图、粗糙度曲线、缺陷分布报告。

　　Sensofar设备支持小视野高精度与大范围快速扫描的灵活切换，单次测量即可获取表面形貌、粗糙度、波纹度等20余项参数。其非接触式测量特性避免了传统接触式探针可能造成的玻璃损伤，特别适合超薄玻璃（厚度＜0.5mm）的检测需求。

　　在显示面板、光伏玻璃、光学器件等制造领域，Sensofar共聚焦白光干涉仪正成为质量控制的关键工具，为玻璃表面质量提供从纳米到微米尺度的全面表征能力。