光学轮廓仪依靠高精度光学成像与干涉测量技术，完成工件表面粗糙度、微观形貌、台阶高度及三维轮廓检测。规范样品测试流程，可避免测量误差、保护仪器镜头，保证数据重复性与准确性。
一、样品前期准备规范
样品表面保持洁净，去除粉尘、油污、水渍、毛刺及加工碎屑，防止杂质遮挡测量区域、划伤光学镜头。
软质材料、易划伤工件需轻拿轻放，避免表面产生二次划痕、压痕，影响真实形貌数据。
不规则样品提前做好支撑定位，保证放置平稳，无晃动、倾斜，杜绝受力变形。
二、测试环境规范
测试区域保持平稳，远离震动、气流、强光直射，减少环境干扰造成条纹抖动、成像模糊。
控制环境温湿度稳定，避免潮湿结露、灰尘堆积，防止镜头污染与光路异常。
测试台面整洁，禁止杂物堆积，预留操作与移动空间。
三、样品放置与定位规范
将待测区域对准镜头中心，合理调整样品高度与摆放角度，避开边缘、形变、缺陷无效区域。
薄型、柔性、易变形样品，采用专用工装夹具固定，保证表面平整无拉伸、无弯曲。
批量测试时统一放置基准，保持测量位置一致，保障数据可对比。
四、仪器操作测试规范
开机完成自检与基准校正后，再放置样品检测，严禁直接开机仓促测量。
缓慢调节升降行程，控制镜头与样品间距，禁止镜头直接接触样品表面，防止碰撞损坏光学部件。
根据样品材质、表面粗糙度，合理选择测量模式、放大倍率与扫描范围，参数匹配样品工况。
扫描过程中禁止触碰样品、台面及仪器机身，防止位移造成扫描中断、轮廓失真。
五、测试完成后规范
测量结束后先抬升镜头，再取下样品，避免取件剐蹭镜头。
及时清理台面残留杂物，特殊油污、腐蚀性样品测试后，对台面进行清洁消毒。
整理保存检测数据、图谱报告，分类归档；长时间不检测，关闭光源，仪器待机或正常关机。
六、通用禁忌要求
禁止测试强腐蚀、强挥发、尖锐锋利且无防护的样品，避免腐蚀仪器、划破光学镜片。
严禁超行程、超倍率强行测量，不随意修改专业核心参数。
样品存在明显凸起、异物时，提前预处理，防止测量时顶伤设备。
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更新时间：2026-04-24
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