在精密制造、半导体封装、光学元件加工及新材料研发等领域,三维表面形貌的精准表征是工艺优化与质量管控的核心环节。传统单一测量技术往往受限于表面特性,难以兼顾光滑与粗糙、高陡坡与超平面的全场景覆盖。
Sensofar白光干涉共聚焦技术以多模态融合的创新理念,将干涉测量、共聚焦显微与多焦面叠加技术集于一体,突破了单一技术的测量边界,为微观表面计量提供了高效、精准的通用型解决方案。北京仪光科技有限公司作为Sensofar在中国的核心合作伙伴,持续为国内用户提供先进的三维表面形貌测量设备与技术支持,助力各行业提升精密检测能力。

Sensofar白光干涉共聚焦技术的核心突破,在于多测量模式的智能融合与无缝切换。系统在同一测量头内集成了白光干涉、共聚焦、多焦面叠加及光谱反射等多种技术,用户无需更换硬件,即可通过软件一键切换测量模式。白光干涉模式利用宽光谱白光的短相干特性,通过垂直扫描获取干涉信号峰值,实现纳米级纵向分辨率,适用于光滑至中等粗糙表面的高度形貌测量;共聚焦模式通过空间滤波抑制离焦杂散光,提供更高的横向分辨率,可精准测量高陡坡、低反射率样品;多焦面叠加技术则针对极粗糙表面设计,支持大扫描范围与高斜率测量,有效补足低倍共聚焦的应用局限。这种多技术协同的架构,使设备能够自适应不同材质、不同粗糙度、不同倾斜角度的样品,实现从亚纳米级超光滑表面到毫米级粗糙结构的全覆盖测量。
无运动部件的光学设计,是Sensofar白光干涉共聚焦技术的另一大技术亮点。传统共聚焦显微镜依赖机械扫描部件实现光学切片,高速运转时易产生振动干扰,影响测量精度与设备寿命。Sensofar采用微显示器扫描共聚焦技术,通过高分辨率微显示器阵列替代机械扫描,实现了无运动部件的光学系统设计。这一创新不仅将系统噪声降低至纳米级以下,还大幅提升了数据采集速度,使三维图像的获取时间缩短至数秒级别。同时,设备配备多波长LED光源与高分辨率相机,可实现真彩色共聚焦成像,每个像素点均能还原真实色彩,为表面缺陷识别与形貌分析提供更直观的视觉参考。
在工业检测场景中,效率与自动化程度同样是关键考量维度。Sensofar白光干涉共聚焦设备支持全自动测量流程,用户只需定位样品,系统即可自动完成对焦、照明优化、模式选择与数据采集,单次测量可在极短时间内完成。配套的SensoSCAN与SensoPRO软件系统内置ISO国际标准参数库,支持表面粗糙度、台阶高度、膜厚等多种参数的自动计算与报告生成,满足工业质控的标准化需求。同时,设备支持大面积自动拼接与多区域批量测量,可适配产线在线检测与实验室研发的不同场景,大幅提升检测通量。
北京仪光科技有限公司作为专业的显微形貌解决方案提供商,代理Sensofar全系列三维共聚焦白光干涉仪,同时提供徕卡显微镜、奥林巴斯显微镜、LINKAM冷热台等配套设备,可为用户提供从设备选型、方法开发到售后维护的全流程服务。凭借对微观形貌测量领域的深入理解,北京仪光科技已为半导体、汽车零部件、精密光学、医疗器械等多个行业的用户提供了可靠的三维表面计量解决方案,助力企业提升工艺水平与产品质量。
在多模态融合技术与无运动部件设计的双重驱动下,Sensofar白光干涉共聚焦系统正重新定义三维表面计量的技术边界。北京仪光科技有限公司以专业的技术服务与完整的产品体系,为国内用户搭建了通往高精度三维形貌测量的桥梁,成为精密检测领域值得信赖的合作伙伴。