在精密测量领域,白光干涉仪以其高精度和特殊的工作原理备受瞩目。它能够通过干涉条纹精确地获取物体的表面轮廓,这一过程充满了科学的奥秘。
白光干涉仪主要基于光的干涉原理工作。当一束白光照射到被测物体表面和参考镜面后,这两束光会在空间中相遇并发生叠加。由于从物体表面反射回来的光与从参考镜反射回来的光在光程上存在差异,根据光的叠加原理,就会形成明暗相间的干涉条纹。
这些干涉条纹蕴含着关键的信息。在理想情况下,如果被测表面是全部平整的,干涉条纹会呈现出均匀、规则的形状。然而,实际中物体表面不可避免地存在微观起伏。当表面不平整时,不同位置的反射光与参考光的之间的光程差会发生变化,从而使得干涉条纹发生变形。
通过捕捉这些变形的干涉条纹,白光干涉仪可以利用专门的图像采集设备将其记录下来。接着,借助先进的计算机算法对采集到的条纹图像进行分析。算法会对条纹的形状、间距、相位等参数进行精确测量和计算。
在众多方法中,相位解包裹技术是一项关键手段。它能够从测量得到的包裹相位信息中恢复出真实的相位分布,这个相位分布与物体表面各点的光程差直接相关。而光程差又与表面的高度变化存在对应关系。通过特定的转换公式和数学模型,就可以将相位信息转化为物体表面的高度信息。
最后,经过一系列的数据处理和分析,这些高度信息被整合成一个完整的三维表面轮廓图。科研人员和工程师们便可以通过这个轮廓图,清晰、准确地了解物体表面的微观形貌特征,为科学研究、工业制造等领域提供了有力的支持。
白光干涉仪细节图展示

总之,白光干涉仪通过对干涉条纹的巧妙分析和处理,成功地从光与光的相互作用中揭示了物体表面的微观世界,为人类探索和利用微观形貌开辟了新的道路。