在精密制造与微观研究的领域中,精确测量物体表面的微观结构和形貌变化是至关重要的。Sensofar共聚焦白光干涉仪作为一种高科技的测量工具,凭借其高精度和高分辨率的特点,广泛应用于科研、工业等领域,为我们揭示了微观世界的奥秘。
一、Sensofar共聚焦白光干涉仪的原理
仪器采用了先进的共聚焦技术和白光干涉技术。其工作原理是通过一个高亮度的光源发出白光,经过特殊设计的光学系统后,形成平行光照射到样品表面。样品表面反射回来的光线再经过光学系统聚焦到探测器上。在这个过程中,只有与焦点处样品表面相对应的反射光能够聚焦到探测器上,形成清晰的干涉图像。通过移动Z轴,探测器可以记录下一系列不同高度的干涉图像。这些图像经过计算机处理,就可以精确地重建出样品表面的三维形貌。
二、使用方法及应用
使用仪器时,首先需将被测样品放置在测量平台上,并通过调整样品台和光学系统,使样品表面位于光学系统的焦平面上。随后,设置合适的扫描范围、分辨率和光源强度等参数,启动测量程序。在测量过程中,仪器会自动采集并处理数据,最终生成样品表面的三维形貌图像。
该仪器广泛应用于多个领域:在半导体行业中,可用于检测芯片表面的光刻图案和加工缺陷;在材料科学中,可用于分析材料的表面形貌和粗糙度;在生物医学领域,可用于观察细胞和组织的微观结构。此外,在光学元件制造、精密机械加工等行业中,它也发挥着重要作用。

总之,Sensofar共聚焦白光干涉仪以其高精度和高分辨率的特性,为科研和工业领域提供了强大的技术支持,成为探索微观世界的得力助手。