奥林巴斯测量显微镜STM7

奥林巴斯测量显微镜STM7具有多功能性，可以提供高性能的、三轴亚微米级精度的零件、电子元件的测量。无论样品大或小，简单或复杂，初学者或使用熟练者进行测量，奥林巴斯STM7系列，可以配置满足您需要的测量显微镜。

奥林巴斯测量显微镜STM7具有优良的多用途性，能够以亚微米精度实现对零部件和电气组件的高性能三轴测量。无论待测样品是大的还是小的，测量内容是简单的还是复杂的，测量人员是新手还是专家，奥林巴斯STM7系列就是能满足您需求、为您量身打造的测量显微镜产品。

STM7 通过整合光学显微镜和测量能力实现精确测量 

多年的显微镜开发经验成就了优异的观察性能

STM7系列采用了当前光学显微镜中所使用的UIS2无限远校正光学系统。因此，观察到的图像具有高分辨率和高对比度，此外，像差也被消除，以确保实现对微小细节的高精度测量。 
 

明场图像

暗场图像

微分干涉图像

偏光图像

花岗岩精雕细琢而成的载物台基座增强了测量的可靠性

STM7-LF FEM 分析

为了进一步保证测量精度，STM7系列采用了一个配备花岗岩基座的高度耐用和防振动的镜架。由于花岗岩的高稳定性，使测量可到达亚微米水平，同时确保大程度地降低误差。

作为高度测量的先锋，继续提供简单易操作的高精度3轴测量

主动反射，共聚焦自动聚焦系统光路

随着现代制造技术日益小型化和精密化，高精度测量也日趋重要——不仅是XY轴平面的测量，而且Z轴方向的高精度测量也成为必须。奥林巴斯成为成功开发了测量显微镜用采用主动反射、共聚焦方法的自动聚焦系统的公司，以此响应了这种与日俱增的需求。

严格的可追溯系统确保品质可靠

测量显微镜溯源系统

奥林巴斯通过一个严格的可追溯系统控制测量显微镜的精确度。 并且在安装系统时奥林巴斯也提供了可追溯的校准服务。

STM7在设计上非常重视易用性 

提供适合您样品尺寸的载物台

常见问题

短测量行程无法满足较大样品的测量需求。 
 

目前为止，大型载物台在X轴方向提供了足够的测量行程，但是Y轴的行程仍然较小。在测量过程中需要通过旋转样品来补偿比X轴覆盖范围要短的Y轴行程，这样的做法费事费时，效率不高。 
 

由于可测量的范围窄，无法将数量较多的样品排列在载物台上，以实现一次性同时测量。

STM7解决方案

共有四种正方形测量行程的载物台可供选用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100�mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的样品还是小的样品，总有一款载物台会适合您要测量的样品。 
 

采用离合器系统可以在粗调和微调之间实现快速切换。具备了这种切换功能之后，载物台也可以沿着X轴和Y轴方向迅速移动，并且可以在XY平面上自由穿梭。 
 

300 mm长的方形载物台在X轴和Y轴方向上可以提供相同的测量行程，这意味着可以不旋转样品就实现大型样品的全部测量，比如300 mm的晶圆和印刷电路板。 
 

STM7-CS50 
50mm x 50mm

STM7-CS100 
100mm x 100mm

STM7-CS200 
200 mm x 200 mm

STM7-CS300 
300 mm x 300 mm