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光镜及电镜制样设备
美国RMC半薄&超薄切片机
PowerTome 3DRMC超薄切片机:工业材料研发三维分析平台
RMC超薄切片机:工业材料研发三维分析平台在工业材料研发中,对材料内部微观结构的三维分析是优化性能、改进工艺的关键。美国RMC PowerTome 3D超薄切片机凭借其适配工业样品的切片能力与三维定位功能,成为工业研发中材料分析的可靠工具。
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RMC超薄切片机:工业材料研发三维分析平台
在工业材料研发中,对材料内部微观结构的三维分析是优化性能、改进工艺的关键。美国RMC PowerTome 3D超薄切片机凭借其适配工业样品的切片能力与三维定位功能,成为工业研发中材料分析的可靠工具。
PowerTome 3D机身采用工业级加固设计,外壳为1.5mm厚不锈钢板,表面经过防腐蚀处理,能适应研发车间的复杂环境(如轻微粉尘、化学试剂挥发)。操作界面支持工业级操作系统,具备权限管理功能,可设置研发人员、技术员等不同权限,保障实验数据的安全性。样品台支持大尺寸样品放置,最大可容纳直径50mm、高度30mm的块状材料样品,配备气动夹紧装置,能稳固固定样品,避免切片过程中因样品松动导致的切片偏差。
设备集成切片收集装置,可自动收集连续切片,并标注切片顺序,方便后续的三维重构分析;同时预留工业相机接口,可连接高分辨率相机拍摄切片表面图像,用于缺陷记录与分析。机身背部设有散热风扇与防尘滤网,长时间连续工作(8小时以上)仍能保持机身温度稳定,减少设备故障。
参数表:
切片厚度范围:0.5nm-10μm
样品台行程:X轴50mm,Y轴50mm,Z轴20mm
样品最大尺寸:直径50mm,高度30mm
切片速度:0.1-10mm/s(连续可调)
夹紧方式:气动夹紧(压力0.1-0.5MPa)
工作温度:15-30℃
相对湿度:20%-75%(无冷凝)
在复合材料研发中,PowerTome 3D可对碳纤维增强复合材料、陶瓷基复合材料进行三维切片,分析纤维与基体的界面结合状态、内部缺陷分布,优化材料配方;在半导体研发中,能对晶圆、芯片封装样品进行切片,观察芯片内部电路结构、焊点形态,检测封装缺陷(如气泡、裂纹);在金属材料研发中,可分析铝合金、钛合金的晶粒生长、相变过程,辅助改进热处理工艺。
安装时需将设备固定在研发车间的专用工作台上,连接电源、压缩空气(用于气动夹紧)与工业网络,通过配套软件完成设备与研发管理平台的对接调试。日常使用前,启动设备自检程序,检查气动系统压力、刀片状态、样品台移动机构是否正常;材料样品需经过切割(如线切割)、抛光处理,去除表面氧化层与杂质;将样品放置在样品台上,启动气动夹紧装置,调节夹紧压力(硬材料选择0.3-0.5MPa,软材料选择0.1-0.2MPa);通过操作界面选择预设的材料切片程序(如“半导体晶圆切片"“复合材料切片"),设置切片厚度、速度与连续切片层数,启动切片程序;设备自动完成切片与收集,过程中可通过工业相机实时拍摄切片图像,记录缺陷位置;切片完成后,取下切片进行后续分析(如电镜观察、成分检测),合格的研发数据上传至管理平台。
RMC超薄切片机:工业材料研发三维分析平台