RMC可视化切片机薄膜材料表征中的应用案例

薄膜材料的厚度均匀性与微观结构是决定其光学、电学性能的关键因素。PowerTome PCZ 通过可视化切片与高精度厚度控制，为薄膜材料的表征提供了可靠的前处理手段。

案例概述
某光学薄膜研发团队使用 PowerTome PCZ 对 200 nm 厚的多层介质膜进行横截面制备，以便在扫描电子显微镜（SEM）下观察层间界面。

实验步骤

1. 样品准备：将薄膜样品粘贴在 55 × 50 mm 的样品台上，使用快速卡扣固定。

2. 参数设定：在触摸屏上选择“单片切割"，目标厚度设为 0.5 µm，切片速度 120 mm/s。

3. 滤光片选择：使用 605 nm 带通滤光片进行可视化监控，确保切片过程中的光照均匀。

4. 切片执行：系统自动完成切片，切片完成后自动回退样品台。

5. 后处理：取出切片后进行离子抛光，随后在 SEM 中观察。

结果

• 切片表面光滑，无明显划痕，层间界面清晰可辨。

• 通过 SEM 测量，实际层厚度误差在 ±2 nm 以内，满足研发需求。

技术优势

• 厚度可调范围宽（0.25 µm–50 µm），适配不同薄膜厚度的制备。

• 高速切片（最高 200 mm/s）缩短样品准备时间。

• 可视化监控配合多波长滤光片，实时观察切片进度，避免过度切割。

参数回顾

使用提示

• 对于极薄膜层（<1 µm），建议*行低速预切，以降低刀具冲击。

• 切片后及时进行离子抛光，可进一步提升表面质量。

结论
PowerTome PCZ 在薄膜材料的横截面制备中表现出高精度、快速且可视化的优势，为材料研发提供了可靠的样本制备平台，显著提升了后续显微分析的效率与准确性。