S neox 采用台式一体化设计，尺寸约 600mm×500mm×750mm，重量控制在 70kg 以内，普通操作台即可放置，节省空间。机身外壳选用高强度铝合金，经阳极氧化处理，兼具抗腐蚀与防光反射能力，减少环境对光学系统的干扰。核心光学系统密封在防尘防雾舱内，避免灰尘水汽影响成像质量，镜头接口标准化，兼容六种常用物镜，更换无需复杂校准。
样品台为设备关键结构之一，采用精密滚珠导轨，表面覆盖耐磨涂层，移动顺滑且长期保持精度。其 X、Y 轴移动范围均为 100mm，Z 轴 50mm，搭配高精度光栅尺，移动精度达 0.1μm，可承载从 5mm 微型镜片到 80mm 半导体晶圆的多样样品。以下为核心参数表：
软件方面，SensoSCAN 内置 ISO 4287、ISO 12781-2 等标准算法，确保数据通用性。支持 PDF、Excel 等多种格式导出，方便存档分享。
S neox 通过丰富的辅助设备与软件适配，满足不同样品与场景需求。辅助夹具涵盖多类专用型号：真空吸附夹具通过 - 0.1MPa 至 0MPa 可调负压，平整固定薄膜、纺织品等柔性样品，避免褶皱影响检测；显微定位夹具借助精密旋钮与光学对准装置，实现 5μm 精度定位，适配 MEMS 器件、微型齿轮等微小样品。
针对特殊样品，无菌夹具支持紫外线消毒，适配人工皮肤等生物样品检测；旋转式夹具转速 0-10r/min，可检测圆柱类工件表面形貌。批量场景中，设备可联动自动化上下料模块，通过机械臂完成样品传送与分类，每小时检测量达 80-120 个，无需人工干预。搭配环境控制舱时，能将温度波动控制在 ±0.3℃，湿度波动 ±1%，保障光学晶体等敏感样品的检测稳定性。
软件适配能力同样突出，15 英寸高清触控屏支持直接操作常用功能，界面含中文、英文等多语言选项。内置 30 + 行业模板，覆盖半导体、汽车等领域，用户可保存 100 + 自定义模板，重复检测时直接调用。“检测向导" 模块提供分步指引，如半导体金线检测时，会提示固定、对焦、扫描等步骤及注意事项，降低操作失误率。设备还支持远程升级与故障诊断，进一步提升使用便利性。
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更新时间：2025-09-24
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