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Sensofar新型3D共聚焦白光干涉光学轮廓仪S neox 从入门到批量检测

更新时间:2025-10-11点击次数:61
Sensofar S neox 通过软硬件协同设计,降低了精密测量的操作门槛,同时满足专业用户的深度需求。其操作体系以 SensoSCAN 软件为核心,搭配便捷的硬件控制逻辑。
软件界面采用模块化布局,左侧功能栏划分测量模式选择、参数设置等模块,右侧实时显示样品成像,底部状态栏更新扫描进度与存储路径。导航预览功能可自动生成低倍全景图,用户框选目标区域后,系统会自动调整镜头位置,更换 2.5x 至 100x 物镜时,预览图同步显示视场范围,避免测量点丢失。
测量模式切换灵活,共聚焦、白光干涉、相位移干涉及多焦面叠加四种模式各有适配场景:共聚焦模式横向分辨率 0.10μm,适合微小结构识别;相位移干涉纵向分辨率达亚纳米级,适配超光滑表面;多焦面叠加技术支持 8mm 扫描深度与 86° 斜率测量。新手可直接使用默认参数,专业用户则能手动调整扫描范围、光源波长等参数,调整效果实时预览。
硬件操作同样便捷,电动样品台通过软件操纵杆实现 XYZ 轴移动,承重达 20kg,两侧可调节夹具稳固固定工件。镜头采用卡扣式设计,旋转即可装卸,软件会自动识别镜头型号并匹配参数。批量检测时增配 SensoPRO LT 软件,预设程序后可实现全自动测量,支持行业专用模块扩展。
操作流程关键步骤表
操作阶段
关键动作
注意事项
准备阶段
清洁样品台,固定样品
样品表面无杂质
定位阶段
启动预览功能,框选区域
确认物镜倍率匹配
测量阶段
选择模式,设置参数
新手建议用默认参数
批量检测
预设程序,启动自动测量
确保样品装载到位
该操作设计适配科研实验室与生产线场景,特斯拉超级工厂便利用其实现每分钟 30 个电池极片的涂层检测。


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