白光干涉仪S neox：微透镜阵列表征的精密利器

　　微透镜阵列作为光学领域的核心元件，由数百至数千个微米级透镜单元组成，广泛应用于成像系统、光通信、传感器等领域。其表面微观3D轮廓参数（如曲率半径、面型误差、中心厚度等）直接影响光学性能，而白光干涉仪S neox凭借其非接触、高精度、三维成像的独特优势，成为微透镜阵列表征的“黄金标准”。

　　一、亚纳米级精度：解锁微观形貌的“密码”

　　微透镜阵列的测量需满足三大核心需求：高精度三维参数提取、大面积快速检测、非接触无损测量。传统探针式轮廓仪虽精度较高，但接触式测量易划伤表面；激光共聚焦显微镜横向分辨率高，但垂直精度不足，难以满足曲率半径的精确计算。S neox白光干涉仪通过共聚焦与干涉双模式融合技术，将垂直分辨率提升至0.1nm，横向分辨率达0.1μm，可清晰捕捉纳米级表面起伏。例如，在50×50单元、口径50μm的聚合物微透镜阵列测量中，S neox成功识别出3个面型误差超标的单元，测得平均曲率半径与设计值偏差仅0.8%，粗糙度Ra均小于5nm，为工艺优化提供了精准数据。

　　二、智能扫描：效率与精度的平衡

　　针对微透镜阵列的大面积检测需求，S neox采用拼接扫描技术，结合500μm行程的压电扫描台，实现毫米级视场的一次性覆盖。以10×10阵列的100μm口径微透镜为例，单次扫描仅需30秒，较传统探针式测量效率提升数十倍。其智能操作界面支持一键聚焦扫描，自动化程序可批量识别阵列单元并提取参数，大幅降低人工干预。在玻璃微透镜阵列测量中，通过反射模式抑制透射光干扰，测量重复性标准差控制在3nm以内，确保数据稳定性。

　　三、多场景适配：从实验室到产线的全链路支持

　　S neox的模块化设计支持多焦面叠加技术，可扩展测量范围至86°局部斜率，适配玻璃、聚合物、半导体等多种材料。对于透明微透镜，通过调整光源波长或采用反射式测量模式，可避免透射光干扰；针对边缘陡峭坡度导致的干涉条纹模糊问题，采用多角度照明或增加扫描步长（如5nm/步）提升边缘数据质量。在汽车发动机缸套纹理评估中，S neox甚至可同时表征微米级油槽深度与毫米级缸套直径，展现跨尺度测量能力。

　　从纳米电子器件到宏观机械部件，从实验室研究到工业产线，S neox白光干涉仪正以亚纳米级精度与毫秒级扫描速度，重新定义微透镜阵列表征的边界，为光学制造的高精度、高效率发展注入强劲动力。