MEMS深槽悬臂梁难检？视芯光学S1000国产非接触式3D轮廓仪无损测

在MEMS制造中，深反应离子蚀刻（DRIE）、薄膜沉积等工艺对微结构精度要求较高，台阶高度、薄膜厚度、表面粗糙度及结构变形的计量表征，关乎器件性能与异构集成可靠性，传统手段在复杂三维形貌获取上常面临一定局限。

视芯光学S1000国产非接触式3D轮廓仪依托干涉与共聚焦技术，搭配镜头可获取MEMS三维轮廓图，对复杂表面形貌、关键区域台阶高度、线条宽度及表面粗糙度等进行非接触式测量，为微结构几何精度与表面质量评估提供数据参考。

视芯光学S1000国产非接触式3D轮廓仪融合共聚焦、干涉、Ai多焦面叠加及膜厚测量四合一技术，一键切换适配不同形貌任务；采用新型算法与相机，数据采集速度可达迅速，标准测量采集速度较以往有较明显提升。配合软件，支持自动识别特征、批量分析等标准参数计算，可输出通过/失败报告，适配研发与产线质控节奏。

视芯光学S1000国产非接触式3D轮廓仪设备出厂前均使用符合标准的可追溯标准块校正，并附带精度与重复性检测报告，为数据稳定性提供支撑，在MEMS三维形貌与缺陷检测场景中可提供较为全面的测量参考。