CPO对准总偏差？视芯光学S1000国产白光干涉共聚焦显微镜纳米级控共面性

在共封装光学（CPO）制造中，光学引擎与ASIC的集成缩短了电链路，对波导、光纤及耦合接口的对准公差提出较高要求。超光滑光学表面的微小高度变化与极低粗糙度，需借助高分辨率计量手段进行表面表征，以保障光路耦合效率与器件可靠性。

视芯光学S1000国产白光干涉共聚焦显微镜依托共聚焦与干涉技术，搭配镜头可获取CPO结构三维轮廓，具备较高的灵敏度与分辨率，有助于表征亚纳米级平滑表面的微观形貌与高度差异。设备融合共聚焦、干涉、Ai多焦面叠加及膜厚测量四合一技术，一键切换适配不同光学结构测量任务。

视芯光学S1000国产白光干涉共聚焦显微镜系统采用新型算法与相机，数据采集速度迅速，标准测量采集速度较以往有较明显提升，兼顾分辨率与效率。配合软件，支持自动识别特征、批量分析等标准参数计算，可输出通过/失败报告，适配研发与产线对准工艺的质控节奏。

视芯光学S1000国产白光干涉共聚焦显微镜设备出厂前均使用符合标准的可追溯标准块校正，并附带精度与重复性检测报告，为数据可靠性提供支撑，在CPO光学制造与对准检测中可提供较为稳定的3D形貌测量参考。