ZYGO激光共聚焦干涉仪精密表面测量解决方案

ZYGO激光共聚焦干涉仪系列产品是基于光学干涉原理的高精度表面测量仪器，适用于光学元件、半导体器件、精密机械零件等表面的纳米级形貌测量需求。该系列产品采用非接触式测量方式，可为用户提供三维表面形貌数据。ZYGO激光共聚焦干涉仪精密表面测量解决方案ZYGO激光共聚焦干涉仪精密表面测量解决方案ZYGO激光共聚焦干涉仪精密表面测量解决方案

技术特点

测量性能表现

• 采用激光共聚焦技术，实现亚纳米级垂直分辨率

• 多种物镜可选，适应不同放大倍率需求

• 测量范围覆盖从亚纳米到数毫米的高度差

• 支持多种表面反射率样品的测量

系统功能配置

• 自动化测量流程，减少人为操作影响

• 可选配振动隔离系统，提升测量稳定性

• 支持多角度测量功能（部分型号）

• 兼容多种规格的样品夹具和载物台

数据分析软件

• 专业分析软件提供多种表面参数计算

• 支持三维形貌可视化与多角度观察

• 数据导出格式兼容主流分析软件

• 可生成标准化检测报告

典型应用领域

1. 光学镜片面形精度检测

2. 半导体晶圆表面质量评估

3. 精密机械零件形位公差测量

4. 功能性薄膜表面特性分析

5. MEMS器件三维形貌表征

使用注意事项

• 建议在温控实验室环境中使用

• 测量前需进行系统校准

• 特殊样品可能需要专用夹具

• 高反射率样品需调整测量参数

服务支持体系

ZYGO公司提供以下专业服务：

• 安装调试与操作培训

• 定期校准与性能验证

• 应用技术支持

• 软件升级维护

总结

ZYGO激光共聚焦干涉仪系列产品凭借其测量精度和可靠性，为精密制造领域的表面质量控制提供了有效的测量手段。该产品适用于需要高精度表面形貌分析的研发和质量控制场景。ZYGO激光共聚焦干涉仪精密表面测量解决方案ZYGO激光共聚焦干涉仪精密表面测量解决方案