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产品简介
Sensofar S Neox多模式光学3D表面解决方案Sensofar S Neox 是一款*的光学3D表面轮廓仪，整合了共聚焦、干涉和聚焦变化三种测量技术，适用于高精度表面形貌分析。该设备广泛应用于微电子、光学元件、精密加工及科研领域，提供快速、准确的非接触式测量方案。
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Sensofar S Neox 是一款*的光学3D表面轮廓仪，整合了共聚焦、干涉和聚焦变化三种测量技术，适用于高精度表面形貌分析。该设备广泛应用于微电子、光学元件、精密加工及科研领域，提供快速、准确的非接触式测量方案。Sensofar S Neox多模式光学3D表面解决方案
多技术融合：支持共聚焦显微镜（CLI）、白光干涉（VSI）和聚焦变化（FVI）三种测量模式，适应不同表面特性。
高分辨率成像：Z轴分辨率可达亚纳米级，横向分辨率达亚微米级，满足精细结构检测需求。
智能自动化：自动对焦、多区域拼接、倾斜校正等功能，提升测量效率。
广泛适用性：可测高反射、透明、粗糙或复杂曲面样品，减少传统测量限制。
光学系统：高品质物镜与LED光源，确保成像清晰稳定。
机械结构：精密导轨与减震设计，降低环境振动干扰。
软件分析：直观的SensoMAP软件支持3D建模、粗糙度分析、形貌对比及数据导出。
| 参数 | 指标 |
|---|---|
| 测量技术 | CLI/VSI/FVI |
| Z轴分辨率 | ≤0.1 nm (VSI模式) |
| 横向分辨率 | ≤0.3 μm |
| 最大视场 | 10×物镜下可达3.2 mm × 3.2 mm |
| 样品高度范围 | 0.1 mm ~ 100 mm |
| 适用环境 | 温度15°C~30°C，湿度<70% |
S Neox Basic：标准配置，适用于常规工业检测。
S Neox Advanced：增强光学与扫描速度，适合高精度研发需求。
S Neox Custom：支持定制化模块，满足特殊应用场景。
微电子制造：PCB、MEMS器件、晶圆缺陷检测。
光学元件：透镜、反射镜、滤光片表面质量分析。
精密加工：刀具、模具、机械部件形貌测量。
科研实验：材料表面特性研究、生物样本观察。
主机（含光学模块与载物台）
校准证书与标准参考样品
SensoMAP专业分析软件（含授权密钥）
防尘防震运输箱（符合工业包装标准）
初始化设置：安装软件并连接设备，进行系统校准。
样品准备：清洁样品表面，固定于载物台。
模式选择：根据样品材质选择CLI、VSI或FVI模式。
参数调整：设置扫描范围、分辨率及光照条件。
数据采集与分析：实时预览形貌图像，生成检测报告。
专业支持：提供在线技术指导与现场操作培训。
保修服务：整机1年保修，核心光学组件延保至2年。
定期维护：可选校准服务与性能优化套餐，确保设备长期稳定运行。
Sensofar S Neox 凭借多模式测量、高精度数据及智能化操作，为工业质检与科研创新提供可靠工具。如需技术演示或定制方案，欢迎联系我们的专业团队。Sensofar S Neox多模式光学3D表面解决方案