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三维光学轮廓仪
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Sensofar平面度测量白光干涉仪搭配0.65X物镜,具有很大视野的物镜和较高精度的载物台,在平面度、平行度和台阶高度测量方面提供了较佳的表现。S neox 持续成为多功能性的先驱;这次带来了具有最大视野的物镜放大倍率和最高精度的载物台,在平面度、平行度和台阶高度量测方面提供了最佳表现。
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