布鲁克白光干涉光学轮廓仪形貌测量新维度

产品核心细节与性能

布鲁克Contour X系列白光干涉光学轮廓仪，以光学干涉技术为核心，通过非接触式测量实现亚纳米级表面形貌分析。其垂直分辨率突破0.1nm，横向采样密度达640×480点/次，可在5-20秒内完成单次扫描，兼顾效率与精度。设备搭载电动Z轴聚焦系统（行程100mm）与高精度XY位移平台（移动范围140×100mm），支持多倍率物镜（2.5×-100×）与光学变焦模块（0.375×-1×）的灵活切换，满足从微米级宏观结构到纳米级微观缺陷的全尺度检测需求。布鲁克白光干涉光学轮廓仪形貌测量新维度

材质与工艺设计

• 光学系统：采用白光LED光源与高数值孔径干涉物镜，配合抗反射镀膜技术，确保光路稳定性与低散射噪声。

• 机械结构：主体框架选用航空级铝合金，经精密CNC加工与应力释放处理，搭配气浮隔振系统，有效隔离环境振动（隔振效率＞95%）。

• 软件平台：基于Windows系统的分析软件支持3D形貌重构、粗糙度计算（Ra/Rq/Rz）、台阶高度测量等300余种国际标准参数输出，并可导出STL/DXF等通用格式数据。

型号与参数对比

应用场景与操作指南

1. 半导体制造：检测晶圆减薄后的表面粗糙度、镭射槽深宽比。

• 操作步骤：将晶圆固定于真空吸附盘→选择20×物镜→设置扫描速度10μm/s→启动自动拼接模式（最大拼接直径φ50mm）。

2. 光学镀膜分析：测量薄膜厚度均匀性）与界面粗糙度。

• 操作步骤：切换至透明膜测量模式→调整光源波长至550nm→通过反射率曲线拟合计算膜厚。

3. MEMS器件检测：评估微结构侧壁垂直度与表面缺陷尺寸。

• 操作步骤：使用45°倾斜照明模块→设置阈值分割参数→自动识别划痕/颗粒缺陷。

用户价值体现

Contour X系列通过模块化设计实现“一机多用"，例如在太阳能电池检测中，可同时完成绒面金字塔结构尺寸分析与栅线电度测量，单台设备替代传统三台仪器，降低实验室空间占用与维护成本超40%。布鲁克白光干涉光学轮廓仪形貌测量新维度