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ZYGO白光干涉仪：微纳表面测量工具ZYGO白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术，适用于高精度表面形貌分析，广泛应用于科研、半导体和精密制造领域
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光学系统：采用高稳定性干涉光学设计，搭配低噪声CCD传感器，确保测量数据稳定。
扫描能力：垂直分辨率可达0.1nm，横向分辨率优于1μm，适应微米至纳米级测量需求。
软件功能：配备专业分析软件，支持3D形貌重建、粗糙度分析、台阶高度测量等功能。
机身采用高刚性铝合金框架，减少环境振动影响。
光学元件镀有防反射膜，提高信噪比，适应高反光或低反射率样品。
NewView™ 9000：适用于高精度科研及工业检测。
NewView™ 7000：经济型，适合常规实验室使用。
半导体晶圆表面缺陷检测
光学元件面形测量
MEMS器件三维形貌分析
开机预热15分钟，确保光源稳定。
选择合适物镜，调整样品台焦距。
启动自动扫描，软件自动处理数据并生成报告。
ZYGO白光干涉仪：微纳表面测量工具 zygo 白光干涉光学轮廓