Zygo白光干涉仪：微纳表面精密测量工具​

ZYGO/翟科白光干涉光学轮廓仪是一种高分辨率的非接触式表面形貌测量设备，适用于微纳米级别的表面形貌分析。该设备基于白光干涉原理，能够精确测量表面粗糙度、台阶高度、薄膜厚度等参数，广泛应用于半导体、光学元件、精密制造等领域。Zygo白光干涉仪：微纳表面精密测量工具 ZYGO/翟科

产品细节与性能

Zygo激光干涉仪采用稳定的白光光源和高精度干涉物镜，确保测量数据的可靠性。其垂直分辨率可达0.1nm，横向分辨率1μm，测量范围覆盖0.1nm至1mm，适用于不同粗糙度的样品分析。设备配备高灵敏度CCD传感器，能够快速捕捉干涉条纹，并生成高精度的3D表面形貌图。ZYGO/翟科激光干涉仪

主要型号与参数

ZYGO提供多个型号以满足不同需求，例如：

• •NewView 9000系列：适用于高精度科研与工业检测，支持大视场扫描（最大20mm×20mm）。

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• •NewView 7000系列：经济型方案，适合常规实验室和产线检测，扫描速度可达50μm/s。

用途与适用行业

• •半导体行业：用于晶圆表面缺陷检测、薄膜厚度测量。

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• •光学制造：分析透镜、反射镜等光学元件的表面质量。

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• •精密加工：测量机械零件的表面粗糙度与形貌特征。

使用说明

ZYGO/翟科激光干涉仪 设备操作界面友好，支持自动对焦和批量扫描功能。用户可通过配套软件进行数据分析，并导出符合ISO标准的检测报告。建议定期校准光学系统，并保持测量环境稳定，以减少外界振动和温度波动的影响。Zygo白光干涉仪：微纳表面精密测量工具 ZYGO/翟科