维护ZYGO光学轮廓仪的建议

维护ZYGO光学轮廓仪的建议

为了确保ZYGO光学轮廓仪长期保持稳定的测量性能，遵循正确的使用流程并执行定期维护是必要的。

使用环境要求：
仪器应放置在温度稳定、无强气流、避免阳光直射和振动干扰的环境中。较大的温度波动会导致光学元件和样品发生热胀冷缩，直接影响测量精度。对于NX2这类高精度设备，甚至要求恒温恒湿的洁净室环境。

日常使用规范：

1. 样品准备：确保样品表面清洁，无灰尘、指纹和油污。轻拿轻放，避免划伤工作台或物镜。

2. 操作习惯：开机后，建议预热一段时间（如30分钟），让光学系统达到热平衡。选择物镜时，注意先移动镜头架再旋转物镜，避免侧向力损坏螺纹。

3. 软件操作：遵循软件指引设置参数，避免使用参数导致测量失败或数据失真。测量完成后，及时导出数据并妥善保存。

日常维护与保养：

1. 清洁：定期使用专用的吹气球或氮气吹尘枪清洁物镜表面和样品台。对于顽固污渍，需使用指定的镜头纸和清洁剂轻轻擦拭。

2. 检查：定期检查电缆、连接器和移动部件是否有磨损或松动迹象。

3. 校准：按照厂家推荐的周期，使用附带的标准样板对仪器的垂直和横向尺度进行校准，以验证其计量溯源性。

4. 专业服务：遇到无法解决的故障或需要进行深度保养时，应联系ZYGO的技术支持团队，由专业工程师进行处理。

通过良好的使用和维护习惯，可以延长设备的使用寿命，并确保测量数据的可靠性和一致性。

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