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PRODUCTS CNTER舜宇显微镜:研究级的“全能选手"工业检测领域对显微镜的需求日益多元化,既要满足高分辨率成像,又需兼顾操作舒适性与功能扩展性。舜宇CX40M正置金相显微镜凭借其模块化设计与人性化细节,成为金属材料分析、电子元件检测等场景的理想选择。
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舜宇显微镜:研究级的“全能选手"
在科研与工业检测领域,显微镜需同时满足高分辨率、多功能性与操作舒适性。舜宇RX50M研究级正置金相显微镜通过创新的光学设计与人性化交互,成为材料科学、半导体检测等场景的核心工具。
RX50M的观察筒采用30°倾斜设计,支持瞳距调节(50-76mm)与三档分光比(双目:三目=100:0/20:80/0:100),用户可同时通过目镜与摄像系统观察样品,提升数据记录效率。机身集成数字调光屏,可实时显示照明电压,并支持一键切换透反射照明模式,简化复杂场景下的操作流程。
光学系统:搭载无限远色差校正系统与U-DICR微分干涉组件,可将0.1μm级的表面高低差转化为高对比度明暗差。例如,在检测精密磁盘表面划痕时,DIC模式可呈现立体浮雕效果,划痕深度测量误差小于0.05μm。
偏振系统:内置360°旋转式检偏器,用户无需移动样品即可观察不同偏振角度下的图像。在半导体检测中,该功能可有效消除晶圆表面反射杂光,提升缺陷识别率。
照明系统:透反射照明装置兼容12V/100W超长寿命卤素灯,配合摇出式消色差聚光镜(N.A.0.9),实现均匀照明与低倍率色差校正。例如,在检测大型金属铸件时,反射照明模式可覆盖78mm高度的样品,满足无损检测需求。
物镜系统:提供明暗场半复消色差物镜(5X-100X),数值孔径(N.A.)达0.9,工作距离1.0-19.5mm,适配从薄片到厚样品的检测需求。
载物台:4英寸(102×102mm)玻璃载物台,支持Y轴锁定功能,防止阵列器件检测时漏检。
关键参数:
项目 | 参数 |
---|---|
总放大倍率 | 50X-1000X |
目镜 | PL10X/25mm(超宽视野目镜) |
微调精度 | 0.001mm |
滤色片插槽 | 4个(支持LBD、ND50等) |
RX50M支持明场、暗场、斜照明、DIC与偏光观察模式。在检测LCD导电粒子时,用户可先使用明场模式定位粒子,再切换至DIC模式测量粒子尺寸;在地质材料分析中,搭配蓝色滤色片(≤480nm)可增强矿物荧光效应。操作时,建议利用物镜转换器的低手位设计,快速切换放大倍率,同时通过数字调光屏监控照明强度,避免过曝。
东莞某半导体企业引入RX50M后,将其应用于晶圆缺陷检测,工程师评价称:“其DIC模式与360°偏振系统显著提升了缺陷识别效率,单片晶圆检测时间从15分钟缩短至8分钟。"目前,该型号已服务于中科院、清华大学等科研机构,以及华为、三星等企业。
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