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详解布鲁克ContourX轮廓仪系列核心技术布鲁克ContourX系列三维光学轮廓仪的测量能力，源于其核心的白光干涉技术（WLI）和稳健的机械设计。理解这些技术细节，有助于用户更好地发挥仪器的潜能。
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布鲁克ContourX系列三维光学轮廓仪的测量能力，源于其核心的白光干涉技术（WLI）和稳健的机械设计。理解这些技术细节，有助于用户更好地发挥仪器的潜能。
1. 白光干涉原理： 仪器内部的光源发出宽光谱的“白光"，通过分光镜分成两束。一束光照射到参考镜，另一束光照射到样品表面。两束光反射回来后重新汇合发生干涉。只有当样品表面某点与参考镜的光程差接近零时，才会产生清晰的干涉条纹。通过垂直方向精密扫描样品，并逐点记录干涉条纹的对比度，软件就能精确计算出每个像素点的高度值，最终重构出表面的三维形貌。
2. 机械结构与用材： 系列的稳定性根基在于其材料选择。大量采用花岗岩作为基座和主要平台，是因为花岗岩具有很高的热稳定性和振动阻尼特性，能有效抑制环境干扰。导轨和丝杠等运动部件采用优质材料，确保移动平稳且回程误差小。这种坚实的机械结构是获得高重复性测量数据的物理基础。
3. 光学系统： 系列配备多位物镜转盘，可搭载多种放大倍率的Michelson或Mirau干涉物镜。这些物镜经过专门校正，以减少像差，获得清晰的干涉图像。自动聚焦和微调机构保证了在不同倍率下都能快速找到优良焦点位置。
4. 软件与分析能力： 强大的软件是数据的“大脑"。它不仅控制硬件完成采集，更提供丰富的分析工具：
形貌与粗糙度分析： 可依据国际标准计算上百种一维、二维和三维参数。
台阶高度测量： 自动识别并测量薄膜台阶或图形结构的高度。
体积分析： 计算磨损区域的体积损失或凹坑、孔隙的容积。
纹理与取向分析： 研究表面的加工纹理方向和各向异性。
数据拼接： 将相邻视场的测量结果无缝拼接，生成大范围的形貌图。
这些技术共同构成了ContourX系列产品的性能基础，使其成为一个功能全面、数据可信的表面计量工具。
详解布鲁克ContourX轮廓仪系列核心技术