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产品中心三维光学轮廓仪布鲁克三维光学轮廓仪ContourX-100布鲁克ContourX系列轮廓仪核心技术
产品简介
详解布鲁克ContourX系列轮廓仪核心技术在表面计量学领域，对物体表面微观形貌进行非接触、高分辨率的测量是一项关键需求。
产品分类
详解布鲁克ContourX系列轮廓仪核心技术 在表面计量学领域，对物体表面微观形貌进行非接触、高分辨率的测量是一项关键需求。Bruker的ContourX系列三维光学轮廓仪，包含ContourX-500、ContourX-200和ContourX-100三个型号，为不同需求的用户提供了多样化的选择。该系列仪器基于白光干涉技术（VSI）和相移干涉技术（PSI），能够以纳米级垂直分辨率重建表面的三维形貌。
ContourX系列的核心在于其智能化的自动化操作和用户友好的设计。仪器采用稳固的钢结构框架和隔振设计，保证了测量过程中的稳定性，有效隔离环境振动带来的干扰。其光学系统搭载了多种倍率的物镜，用户可根据测量区域的大小和分辨率要求自动切换，无需手动操作，既提高了效率，也避免了人为误差。
在用途上，该系列仪器广泛应用于半导体、光学、材料、精密制造等行业。无论是测量硅片的台阶高度、光学镜面的面形，还是机械零件的粗糙度，ContourX系列都能提供有价值的量化数据。其非接触的特性使其特别适合测量柔软、易磨损或需要无损检测的样品。
使用说明简述：
操作流程直观简便。用户将样品放置在样品台上，通过软件控制台面移动至测量位置。选择合适的物镜后，软件会自动完成聚焦和光强调节。用户设定扫描范围，仪器即可自动完成三维数据的采集。随后，利用分析软件可进行形貌可视化、粗糙度计算、台阶高度测量等多种分析。
参数简表（系列共通点）：
参数 | 描述 |
|---|---|
技术原理 | 白光干涉(VSI)与相移干涉(PSI) |
垂直分辨率 | <0.1 nm (PSI模式) |
物镜 | 多种倍率自动切换 |
平台 | 电动X-Y平台，自动调平 |
软件 | Vision64® 全功能分析软件 |
隔振 | 集成式隔振系统 |
ContourX系列以其可靠性和易用性，成为表面三维测量的常见选择。详解布鲁克ContourX系列轮廓仪核心技术