Zygo 光学轮廓仪：设计里的测量智慧
在微观测量设备领域，合理的设计往往是性能发挥的基础。Zygo 3D 光学轮廓仪 NewView™ 9000 以精心的设计，将测量精度与使用便捷性巧妙融合，成为众多领域的可靠选择。
从外观设计来看，NewView™ 9000 采用一体化柜式结构，机身尺寸约为 850mm×700mm×1200mm，整体线条简洁流畅。这种设计不仅能有效隔绝外界振动对测量的影响，还为内部光学系统提供了稳定的运行环境。机身外壳选用优质冷轧钢板，表面经过静电喷涂处理，呈现出细腻的哑光质感，既具备良好的抗刮擦性能，又能减少环境光线的反射干扰，让设备在长期使用中保持整洁外观。
设备的操作区域布局清晰合理，控制面板位于机身正面中部，包含显示屏、操作按钮和轨迹球，操作人员无需弯腰即可轻松操作。样品装卸区域设置在机身前部，采用抽屉式样品台设计，最大样品尺寸可达 300mm×300mm，满足多数工业样品的测量需求。样品台两侧配备可调节夹具，能适应不同形状和尺寸的样品，夹具表面覆盖橡胶垫层，避免夹伤样品表面。
内部光学系统的设计同样注重细节。光路通道采用密封式结构，有效防止灰尘进入影响成像质量，同时配备恒温控制系统，将内部温度波动控制在 ±0.1℃以内，减少温度变化对光学元件的影响。光学镜头与样品台之间的相对位置经过精密校准，确保测量过程中光路始终保持稳定，为数据准确性提供保障。
在性能方面，NewView™ 9000 搭载了 Zygo 的 Mirau 干涉物镜，结合白光干涉技术，能实现纳米级别的纵向分辨率。其横向分辨率根据镜头型号不同有所差异，搭配 5 倍物镜时可达 1.2μm，搭配 100 倍物镜时则能达到 0.1μm，可满足不同精度要求的测量任务。设备的测量范围也十分灵活，Z 轴最大测量范围为 10mm，X、Y 轴视场范围随物镜倍率变化，从 5 倍物镜的 10.2mm×7.7mm 到 100 倍物镜的 0.51mm×0.38mm 不等。
用材上，核心光学元件均选用高纯度光学玻璃，经过精密研磨和镀膜处理，确保光线透过率和成像质量。干涉物镜的镜筒采用钛合金材质，这种材料具有较低的热膨胀系数，能在温度变化时保持结构稳定，减少因形变导致的测量误差。样品台的导轨采用高精度滚珠丝杠，配合伺服电机驱动，移动平稳且定位精度高，重复定位误差可控制在 1μm 以内。
操作方面，NewView™ 9000 配备了 ZygoMCM™操作软件，界面直观易懂。软件支持自动对焦和自动测量功能，操作人员只需将样品放置好，点击 “测量" 按钮，设备就能自动完成数据采集和分析。软件内置多种测量模式，包括表面粗糙度分析、台阶高度测量、三维形貌重建等，满足不同的测量需求。
无论是在电子制造、光学加工还是材料研究领域，NewView™ 9000 都能凭借其出色的设计和性能，为用户提供稳定可靠的测量数据，成为微观测量工作中的得力助手。
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