在科学研究与工业检测等领域,对微观世界的精准观测和分析至关重要。基恩士 VK-X3000 激光共聚焦显微镜,以其出色的性能和丰富的功能,成为众多科研人员和工程师的得力助手。基恩士VK-X3000激光共聚焦显微镜
基恩士 VK-X3000 采用了优良的三重扫描方式,融合激光共聚焦、白光干涉、聚焦变化三种不同的扫描原理。这种独特的设计,使其能够根据样品工件的材料、形状和测量范围,灵活选择最为适配的扫描方式,进而实现高精度测量。无论是高倍率和低倍率的观测需求,还是平面、凹凸表面的细微粗糙度检测,亦或是镜面体、透明体等特殊材料的测量,VK-X3000 都能应对自如。其测量能力覆盖范围极广,从 1nm 的纳米级到 50mm 的较大尺寸,真正做到纳米 / 微米 / 毫米一台即可完成测量。
在探测器模块方面,它配备了 16BIT 光电倍增器以及面阵探测器彩色 CMOS。其中,超高灵敏度光电倍增器能够实现 16bit 感应,这对于捕捉激光反射并将其转化为高度信息起着关键作用,成功地以高分辨率进行感应,可准确读取反射率不同的复合材料,测量数据以 16bit(65536 灰度级)进行处理,以往难以看清的细微的颜色和明暗差异都能如实呈现。
载物台的设计也十分精巧,XY 轴支持电动运行方式,Z 轴支持电动及手动运行方式,操作便捷。载物台 X/Y/Z 轴最大行程分别为:100mm@X 轴;100mm@Y 轴;50mm@Z 轴,能够满足多种尺寸样品的测量需求。
光源类型包含 661nm 半导体红色激光(II 类激光)以及白色 LED 光源。在激光共聚焦模式下,不同物镜展现出优秀的精度表现:10X 物镜高度重复性精度 σ 为 100nm,宽度重复性精度 3σ 为 400nm;20X 物镜高度重复性精度 σ 为 40nm,宽度重复性精度 3σ 为 100nm;50X 物镜高度重复性精度 σ 为 20nm,宽度重复性精度 3σ 为 50nm。聚焦变化模式下,5X 物镜高度重复性精度 σ 为 500nm,宽度重复性精度 3σ 为 400nm;10X 物镜高度重复性精度 σ 为 100nm,宽度重复性精度 3σ 为 400nm;20X 物镜高度重复性精度 σ 为 50nm,宽度重复性精度 3σ 为 120nm;50X 物镜高度重复性精度 σ 为 30nm,宽度重复性精度 3σ 为 65nm。
所配物镜的数值孔径 NA 及工作距离 WD 也各有特点:5X 物镜,NA≥0.13,WD22.5mm;10X 物镜,NA≥0.30,WD16.5mm;20X 物镜,NA≥0.46,WD3.1mm;50X 物镜,NA≥0.8,WD0.54mm;150X APO 物镜,NA≥0.95,WD0.2mm;20X 干涉物镜,WD4.7mm。
在分析功能上,它拥有多达 292 种分析工具,测量软件不仅能测量高度或尺寸,还能依据用户的想法,通过多样的分析工具实现进一步深入分析。比如在粗糙度分析中,能够将希望了解的表面 “差异" 清晰呈现,定量化微小形状,轻松比较多个样品。
在 3D 显示方面,支持动态三维显示,可进行 XYZ 三轴旋转、前后、左右、上下移动,Z 轴还能实现放缩比例显示,为用户提供更直观的微观结构展示。报告输出格式也丰富多样,支持模板报告模式(JPEG/TIF/BMP)、CSV 格式文件输出以及 Excel 多文件报告格式输出,方便用户根据需求选择。还具备多文件分析功能,可在并列显示多个扫描结果文件后,针对多个图像进行一致性分析测量。
基恩士 VK-X3000 激光共聚焦显微镜凭借其性能、丰富的功能和便捷的操作,在材料研究、半导体检测、精密制造等众多领域都有着广泛的应用前景,助力各行业深入探索微观世界的奥秘。基恩士VK-X3000激光共聚焦显微镜