徕卡DM8000M 显微镜机械结构与材料选用

DM8000M 的机械结构以高刚性与低振动为设计目标。机身主体采用航空级铝合金框架，配合内部钢制支撑件，形成了一个整体刚性超过 95 % 的结构体系。该结构能够在高速扫描过程中抑制外部振动对图像的影响，保证了图像的清晰度与测量的重复性。徕卡DM8000M 显微镜机械结构与材料选用

载物台是本机的关键运动部件，采用了精密滚珠丝杠驱动，配合线性编码器，实现了 0.01 µm 的步进精度。滚珠丝杠的材料为高硬度合金钢，表面经过氮化处理，以提升耐磨性和抗腐蚀性。

在样品固定方面，DM8000M 配备了专用的 8 inch 晶圆夹具，夹具本体采用不锈钢材料，表面进行电泳涂层处理，防止在长期使用中产生划痕或污染。夹具的设计考虑了晶圆的热膨胀系数，能够在不同温度环境下保持稳定的夹持力。

主要机械参数

材料优势

• 铝合金：重量轻、散热快，便于移动与维护。

• 钢制支撑：提供高刚性，确保在高速扫描时结构不变形。

• 氮化合金钢：耐磨、抗腐蚀，延长使用寿命。

• 电泳涂层不锈钢：防止金属离子泄漏，保持样品洁净。

维护与保养

1. 定期检查螺纹：滚珠丝杠与螺母的润滑油每 6 个月更换一次，防止磨损。

2. 清洁机身：使用柔软的无绒布擦拭机身，避免使用含有腐蚀性化学剂的清洁剂。

3. 校准载物台：每次长时间运行后，使用内置校准程序检查载物台的平行度与定位精度。

通过严选材料与精密机械加工，DM8000M 在高负荷、长时间运行的生产环境中能够保持稳定的性能表现，为半导体检测提供可靠的硬件支撑。

通过上述光学设计与成像优势，DM8000M 能够在高产能半导体检测环境中提供可靠、细致的图像信息，帮助用户快速定位并分析缺陷。徕卡DM8000M 显微镜机械结构与材料选用