徕卡DM8000M 显微镜软件平台与数据处理

DM8000M 搭载的 Leica LAS（Leica Application Suite）软件是其数据采集与分析的核心。该平台支持实时图像预览、自动拼图、缺陷标记、尺寸测量以及批量报告生成。软件界面采用模块化布局，用户可根据实际需求启用或隐藏相应功能模块，提升操作效率。徕卡DM8000M 显微镜软件平台与数据处理

关键功能

• 自动扫描与拼图：用户设定扫描区域后，系统自动控制载物台进行行进、图像采集并在后台完成图像拼接，生成完整的晶圆全景图。

• 缺陷识别：内置的机器视觉算法能够对暗场或斜照图像进行特征提取，自动标记颗粒、划痕、孔洞等缺陷，并输出缺陷尺寸、位置坐标。

• 尺寸测量：支持线性、圆形、角度等多种测量方式，测量精度受限于光学分辨率与载物台定位精度，理论误差在 ±0.2 µm 以内。

• 报告生成：检测完成后，系统可一键生成 PDF 或 Word 报告，报告中包含全景图、缺陷统计表、测量结果以及操作日志。

数据管理

所有采集的图像与分析结果均存储在本地硬盘或网络存储服务器上，支持基于时间、样品编号或项目名称的检索。软件提供了数据备份与恢复功能，防止因硬件故障导致的数据丢失。

与其他系统的兼容性

• 文件格式：支持导出为 TIFF、PNG、JPEG、LAS 原始文件以及 CSV、XLSX 等表格格式。

• 接口：提供 OPC-UA 与 RESTful API，便于与 MES、ERP 等工厂信息系统对接，实现检测数据的自动上传与追溯。

使用建议

1. 使用：完成系统初始化后，进行一次全景扫描测试，检查拼图质量与缺陷识别准确性。

2. 日常操作：在每批次检测前，校准光源强度与焦距，确保图像一致性。

3. 数据归档：建议每月对历史数据进行压缩归档，保持硬盘空间充足。

通过 Leica LAS 软件平台的强大功能，DM8000M 能够实现从图像采集到数据分析、报告输出的全流程自动化，帮助用户提升检测效率并实现数据的可追溯性。

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