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徕卡DM8000M显微镜使用安全与操作规范为确保 DM8000M 在长期使用中的安全性与检测精度，制定了以下操作规范与安全注意事项。
徕卡DM8000M显微镜使用安全与操作规范
为确保 DM8000M 在长期使用中的安全性与检测精度，制定了以下操作规范与安全注意事项。
1. 环境要求
洁净度：工作区应符合 ISO 4 级以上洁净室标准，避免灰尘进入光学系统。
温湿度：温度控制在 20 ± 2 ℃，相对湿度 45 ± 5 %。温湿度波动过大可能导致光学元件的热膨胀，引起焦距漂移。
电源：使用稳压电源，额定电压 220 V，频率 50 Hz，避免电压波动对 LED 光源寿命产生影响。
2. 操作流程
| 步骤 | 内容 |
|---|---|
| ① 检查 | 确认机身、载物台、光源无异常，检查电源指示灯是否正常。 |
| ② 装样 | 使用防静电手套，轻柔放置晶圆于专用夹具，确保晶圆中心对准载物台中心。 |
| ③ 软件设置 | 启动 Leica LAS，选择相应的观察模式与放大倍率，设定扫描区域。 |
| ④ 扫描 | 启动自动扫描，系统完成图像采集与拼图。 |
| ⑤ 分析 | 使用缺陷识别与测量工具，对感兴趣区域进行标记与尺寸测量。 |
| ⑥ 保存 | 将图像、测量数据与报告保存至指定路径，完成后关闭软件。 |
| ⑦ 清理 | 关闭光源，取下晶圆，使用无尘布轻拭载物台与光学元件。 |
3. 安全注意事项
防护：操作时佩戴防静电手套与防护眼镜，防止晶圆碎屑或光源意外伤害。
光源防护：LED 光源虽低热，但长时间开启仍会产生一定热量，避免直接用手触摸光源部件。
紧急停机：仪器配备紧急停止按钮，出现异常噪音或振动时立即按下，以防机械损伤。
4. 维护保养
光源更换：LED 光源寿命约 20 000 小时，系统会提前提示更换时间。更换时请使用原厂配件。
光学清洁：每月使用专用光学清洁纸轻拭物镜与目镜，避免使用酒精或其他溶剂。
机械检查：每半年检查滚珠丝杠的润滑情况，必要时添加专用润滑油。
5. 培训要求
所有操作人员必须通过厂家提供的基础培训，掌握仪器的基本结构、操作流程与安全规范。培训合格后方可独立使用仪器。
遵循上述安全与操作规范，能够大程度保障 DM8000M 的检测精度与使用寿命，为半导体生产提供持续、可靠的检测支持。
徕卡DM8000M显微镜使用安全与操作规范