双模协同：了解Sensofar共聚焦与干涉技术

双模协同：了解Sensofar共聚焦与干涉技术

在表面形貌测量中，不同的样品特性往往需要不同的测量技术。单一的测量方式有时难以应对多样的样品类型。Sensofar S lynx三维轮廓仪将共聚焦成像与白光干涉测量技术集成在一台设备中，这种组合方式拓展了其应用范围。

技术原理浅析：两种方式的互补

共聚焦技术通过一个空间针孔来排除焦平面以外的散射光，从而能够获取样品特定深度的清晰光学切片。通过垂直扫描，将这些切片叠加，就可以重建出表面的三维形貌。这种方式对于测量倾斜表面或具有复杂轮廓的样品有较好的表现。

白光干涉技术则是利用白光光源的短相干性，当干涉仪参考臂与测量臂的光程相等时，会产生明显的干涉条纹。通过垂直扫描并分析相机每个像素点的干涉信号，可以精确计算出该点的高度值。这种方式在测量阶梯高度和光滑表面的微观起伏时，能提供参考数据。

实际应用中的技术切换

在实际操作S lynx时，用户可以根据样品的实际情况，在软件中选择更适合的测量模式。

• 对于粗糙、高倾斜或漫反射表面，可以考虑优先使用共聚焦模式进行测量。

• 对于光滑、低粗糙度或需要测量微小台阶的样品，白光干涉模式可能更为合适。

• 对于一些复杂样品，甚至可以尝试将两种模式的数据进行融合，以获取更完整的形貌信息。

这种灵活性使得S lynx在面对实验室或产线上多样的样品时，能够提供一种适应性的测量方案。

产品细节与性能表现

S lynx的光路设计考虑了两种技术的集成，通过内部的光学组件切换，实现不同测量模式间的转换。仪器所使用的LED光源具有较长的使用寿命和稳定的光强输出。CCD相机负责图像的捕捉，其像素数量与所选物镜的搭配，共同决定了系统的横向分辨能力。

性能参数概览

• 垂直扫描范围：可达数毫米（具体取决于物镜配置）。

• 重复性：测量数据具有可参考的稳定性。

• 物镜套组：支持多种倍率的物镜，用户可根据测量范围与分辨率的需求进行更换。

了解共聚焦与白光干涉技术的原理与特点，有助于用户更好地发挥S lynx双模测量的潜力，为材料分析、质量控制等环节提供形貌数据支持。双模协同：了解Sensofar共聚焦与干涉技术