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布鲁克三维光学轮廓仪参数背后的测量力解析

产品简介

布鲁克三维光学轮廓仪参数背后的测量力解析
ContourX-500 是一款通用型三维光学轮廓仪,主打 “非接触测量 + 宽测量范围",适配电子元件、光学零件、机械部件等场景的表面形貌检测

产品型号:ContourX-500
更新时间:2025-10-15
厂商性质:代理商
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布鲁克三维光学轮廓仪参数背后的测量力解析

一、产品定位与型号信息
ContourX-500 是一款通用型三维光学轮廓仪,主打 “非接触测量 + 宽测量范围",适配电子元件、光学零件、机械部件等场景的表面形貌检测,无衍生子型号,核心差异在于可选配的测量物镜(2.5X、5X、10X、20X、50X)与样品台(手动 / 自动)。设备尺寸为 600mm×550mm×480mm(长 × 宽 × 高),重量约 32kg,台式一体化设计,集成光学系统、成像模块与数据处理单元,开箱连接电源即可使用。
二、核心参数与性能关联
(一)光学测量参数
采用白光干涉技术,垂直测量范围 0.1nm-10mm,水平测量范围 5μm-80mm,不同物镜对应不同精度:2.5X 物镜水平分辨率 6.4μm、垂直分辨率 0.1nm,适合大尺寸零件(如机械外壳)整体形貌测量;50X 物镜水平分辨率 0.64μm、垂直分辨率 0.05nm,适配微小结构(如芯片引脚)检测。
测量速度方面,单幅图像采集时间 0.2-1.5 秒,全视野扫描时间≤25 秒(5X 物镜下 5mm×5mm 视野),支持连续测量模式,可自动完成 10 个区域批量检测,满足中等效率检测需求。数据点密度最高 800 点 /mm²,能还原表面粗糙度、台阶高度、沟槽深度等细节。
(二)系统与兼容参数
配备 160 万像素 CMOS 传感器,最大分辨率 1280×1024,结合专用成像算法,低反射样品(如塑料)也能清晰成像。光源为高稳定性 LED 白光,色温 5600K,亮度波动≤1.5%/ 小时,减少光源干扰。
兼容 Windows 10 及以上系统,配套 ContourPro 软件支持 CAD 文件导入,自动对比测量数据与设计值,生成偏差报告;数据可导出为 CSV、STL、BMP 格式,便于后续分析。
三、参数与场景适配
电子领域检测芯片键合线(高度 20-50μm)时,选 50X 物镜,垂直分辨率 0.05nm 可区分 ±0.1μm 高度差异;机械领域测轴承表面粗糙度(Ra≤0.8μm)时,用 10X 物镜,水平分辨率 1.6μm 覆盖局部区域,25 秒内完成扫描,生成 Ra 值与 3D 形貌图。
参数调整需遵循 “样品尺寸 - 精度需求" 原则:大样品选低倍物镜,小样品选高倍物镜;高精度需求选高数据点密度,快速检测选低密度。例如测手机玻璃划痕(宽度≥1μm),用 10X 物镜、500 点 /mm² 密度,5 分钟内完成单样品检测,兼顾细节与效率。布鲁克三维光学轮廓仪参数背后的测量力解析


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