Sensofar S neox：洁净室中的测量方案
半导体等行业的洁净生产环境，对检测设备有特殊要求，S neox系列中的洁净室适配型号恰好满足这类需求。产品细节上，该型号的测量传感器符合 ISO 1 级洁净室标准，机身采用不锈钢外壳，能最大限度减少颗粒排放，避免污染生产环境。整体结构经过密封优化，缝隙处采用防尘设计，减少灰尘进入设备内部影响精度。操作面板采用防水防污材质，便于在洁净室中清洁维护。
性能方面，它通过 SEMI S2、S8 等半导体行业标准认证，以及 TÜV 莱茵 land 认证，适合半导体表征等严苛场景。延续的 “3-in-1" 技术能适配晶圆、显示面板等不同样品，亚纳米级的测量能力可满足精密检测需求。搭配闭环 XY 龙门设计，即使测量大尺寸样品，也能保持稳定表现。
用材上，除了核心光学部件的高纯度玻璃与增透膜，设备内部采用低挥发材质，避免污染物释放。机械传动部件经过特殊润滑处理，减少颗粒产生，契合洁净环境要求。
洁净室适配参数简表
该型号属于 S neox Grand Format 系列，XY 轴行程 600×600mm，移动速度 1m/s，适合大尺寸半导体晶圆、显示面板检测。使用时需遵循洁净室操作规范，定期用专用清洁剂擦拭外壳，模块维护需在洁净工作台进行，确保设备与环境的兼容性。
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