白光干涉仪S neox的涂层厚度测量

产品简介

白光干涉仪S neox的涂层厚度测量：Sensofar S neox通过非接触式台阶高度测量，可精确量化涂层或薄膜的厚度与均匀性，为质量控制和工艺研究提供关键数据。

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更新时间：2025-11-17

厂商性质：代理商

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在许多工业应用和科研领域中，对基材上的涂层、薄膜厚度进行精确测量是常见的需求。涂层的厚度直接影响其光学、电学、机械和防腐性能。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪提供了一种非接触式测量涂层厚度的方法，特别适用于需要测量局部厚度或无法进行截面破坏性检测的场景。

S neox测量涂层厚度的原理通常基于对台阶高度的测量。常用的方法是人为制造一个台阶：在涂层上制造一个微小缺口，使基材暴露出来。这可以通过轻微刮擦、使用掩膜或选择性蚀刻等方式实现，关键是确保台阶边缘清晰。

然后，使用S neox的白光干涉模式或高倍共聚焦模式扫描这个台阶区域。仪器会精确获取从涂层表面到暴露的基材表面的高度差，这个高度差即为涂层的厚度。

这种方法的优势包括：

非破坏性（相对截面法）：无需将样品切开制样，对样品本身破坏较小。

高分辨率：白光干涉模式可提供亚纳米级的垂直分辨率，适合测量从纳米到微米级的薄膜厚度。

定位测量：可以精确选择样品的特定位置进行厚度测量，研究涂层的均匀性。

同时获得形貌信息：除了厚度值，还能观察涂层表面的形貌、粗糙度以及台阶边缘的质量。

需要注意的是，此方法需要制备一个清晰的台阶，且测量结果的有效性取决于台阶边缘的质量。对于非常硬或脆的涂层，制备清晰台阶可能需要技巧。对于多层膜结构，测量会变得复杂。

尽管如此，对于许多常见的涂层，Sensofar S neox提供了一种有效的厚度测量方案。它将厚度测量转化为精确的台阶高度测量，为涂层工艺的质量控制和研究开发提供了一种可供选择的手段。

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