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产品简介
白光干涉仪S neox的微透镜阵列表征:Sensofar S neox可对微透镜阵列进行高精度三维形貌测量,精确量化面形、曲率、矢高及阵列均匀性,为光学性能评估与工艺优化提供关键数据支撑。
产品分类
•面形分析:可以评估每个微透镜的实际面形与设计面形(如球形、非球面)的偏差,计算面形误差。
•曲率半径与焦距:通过拟合透镜表面的三维数据,可以精确计算其曲率半径,进而推算焦距。
•矢高:精确测量透镜顶点与边缘的高度差。
•阵列均匀性:可以批量测量阵列中多个透镜的口径、矢高等参数,计算其均匀性,评估制造工艺的一致性。
S neox的大面积拼接功能允许测量超过单个视场的大型微透镜阵列。其高垂直分辨率能够精确分辨纳米级的面形误差。对于透明材质的微透镜,可以使用共聚焦模式或启用透明材料校正算法。