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白光干涉仪S neox的微透镜阵列表征

产品简介

白光干涉仪S neox的微透镜阵列表征:Sensofar S neox可对微透镜阵列进行高精度三维形貌测量,精确量化面形、曲率、矢高及阵列均匀性,为光学性能评估与工艺优化提供关键数据支撑。

产品型号:
更新时间:2025-11-18
厂商性质:代理商
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白光干涉仪S neox的微透镜阵列表征

微透镜阵列是许多现代光学系统的核心元件,广泛应用于光束整形、均匀照明、光场成像等领域。其性能高度依赖于每个微透镜的面形精度、口径、矢高以及阵列的均匀性。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪为微透镜阵列的全面定量表征提供了有效的测量方案。
白光干涉测量模式非常适合于测量光滑、连续的光学表面。对于微透镜阵列,S neox可以快速获取整个阵列或其中代表性区域的三维形貌。基于此数据,可以进行一系列关键参数的提取:

面形分析:可以评估每个微透镜的实际面形与设计面形(如球形、非球面)的偏差,计算面形误差。

曲率半径与焦距:通过拟合透镜表面的三维数据,可以精确计算其曲率半径,进而推算焦距。

矢高:精确测量透镜顶点与边缘的高度差。

阵列均匀性:可以批量测量阵列中多个透镜的口径、矢高等参数,计算其均匀性,评估制造工艺的一致性。

S neox的大面积拼接功能允许测量超过单个视场的大型微透镜阵列。其高垂直分辨率能够精确分辨纳米级的面形误差。对于透明材质的微透镜,可以使用共聚焦模式或启用透明材料校正算法。

此外,通过分析三维形貌数据,还可以评估透镜表面的粗糙度,这对了解其散射损耗有参考价值。
因此,Sensofar S neox使微透镜阵列的质量评估从简单的焦距测量或干涉条纹观察,推进到对三维面形的精确、定量化分析,为工艺优化和质量控制提供了丰富的数据支持。

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