白光干涉仪S neox的滤光片测量

产品简介

白光干涉仪S neox的滤光片测量:Sensofar S neox可对光学滤光片基板及成品进行非接触测量，精确量化表面平整度、粗糙度与微缺陷，确保其光谱性能与镀膜质量。

产品型号：

更新时间：2025-11-18

厂商性质：代理商

访问量：32

产品咨询 17701039158

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

光学滤光片，尤其是干涉型滤光片，其性能取决于内部多层膜的结构和厚度。任何基片的不平整度或表面缺陷都会影响滤光片的光谱特性。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪可以用于滤光片基板和成品的关键参数测量。

对于滤光片基板，表面平整度是核心参数。基板的局部不平整会导致滤光片中心波长和带宽发生变化。S neox的白光干涉模式可以快速扫描基板的大面积区域，精确测量其整体平面度或局部平整度误差，确保基板满足镀膜要求。

表面粗糙度是另一个重要参数。过高的表面粗糙度会导致光散射增加，降低滤光片的透射率或增加截止带的背景噪声。S neox能够以亚纳米级的垂直分辨率测量基板表面的粗糙度。

对于成品滤光片，S neox可以检测其表面是否存在划痕、疵点、颗粒污染等缺陷。这些缺陷会散射光，影响滤光片的性能。仪器可以量化缺陷的尺寸和深度。

此外，对于某些类型的滤光片结构，如嵌入式或表面微结构滤光片，S neox可以测量其三维形貌。

S neox的非接触式测量避免了对脆弱光学薄膜表面的潜在损伤。其高分辨率能够探测到纳米尺度的形貌变化。

因此，Sensofar S neox为光学滤光片的制造过程提供了一种质量控制手段，从基板入库检验到镀膜后成品检测，帮助确保滤光片的光学性能符合设计预期。

返回列表

在线留言