ZYGO 光学轮廓仪

ZYGO 光学轮廓仪

ZYGO ZeGage Pro是一款台式3D光学轮廓仪，它基于白光干涉技术，为表面形貌测量提供解决方案。该设备采用紧凑化设计，在保持测量性能的同时，适应实验室和车间的空间需求。

在精密制造和材料研究领域，对表面微观特征的量化分析具有实际意义。能够以非接触方式获取表面三维形貌信息的测量工具，为工艺评估和质量控制提供了观察方法。ZYGO ZeGage Pro光学轮廓仪，通过其技术特点，在这类测量任务中发挥作用。

该设备的工作原理基于白光干涉测量技术。系统利用宽光谱光源产生干涉信号，通过垂直扫描和相位分析，获取样品表面的高度信息。光学系统的设计考虑了测量的稳定性和重复性，配套的分析软件支持多种数据处理功能。这种技术路径在应对光滑表面和微米级台阶的测量时，表现出一定的适用性。

在实际应用中，该设备可以用于多种材料的表面测量。在光学元件加工中，可用于观察透镜、棱镜等元件的面形特征；在半导体行业，能够对晶圆表面的薄膜状态进行测量；在精密机械领域，可用于评估零件加工后的表面纹理。测量过程不需要接触样品，这减少了对样品表面可能产生的影响。

设备的使用流程相对简化。操作人员将样品放置在载物台上，通过软件界面设置测量参数，启动自动测量程序。系统完成扫描后，软件会自动处理数据，生成三维形貌图像和相应的参数报告。标准化的操作步骤有助于保持测量结果的一致性。

从技术指标来看，该设备在垂直分辨率和横向分辨率方面具有相应的测量能力。其扫描范围可以适应从亚纳米到毫米级的特征高度变化。测量速度能够满足常规检测的时间要求。这些特点使其能够在研发和质检环节中提供测量支持。

在使用环境中，设备对场地条件有一定要求。稳定的温度环境和必要的振动隔离，有助于获得更可靠的测量数据。定期的清洁和维护，可以保持光学系统的性能状态。操作人员经过基础培训后，能够完成常规的测量任务。

在数据分析方面，配套软件提供了多种工具。用户可以进行表面粗糙度计算、台阶高度测量、截面轮廓分析等操作。数据导出格式支持与其他软件进行数据交换。这些功能为深入分析表面特征提供了条件。

与同类设备相比，该产品在便携性和易用性方面进行了考虑。其结构设计相对紧凑，便于在不同工作区域之间移动。用户界面的设计注重直观性，降低了学习使用的难度。这些特点使其适合于多地点或空间有限的使用场景。

总的来说，ZYGO ZeGage Pro光学轮廓仪为三维表面形貌测量提供了一种技术选择。它通过非接触的光学测量方式，获取样品表面的形貌信息，并以图像和数据的形式呈现结果。这种测量方法在工业检测和实验研究中具有一定的应用空间，能够为表面质量评估提供参考依据。

ZYGO  光学轮廓仪