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产品简介
ZYGO 技术特点了解设备的技术特点是有效使用的基础。ZYGO ZeGage Pro光学轮廓仪在光学设计、扫描控制、信号处理等方面具有一些技术特征,这些特征共同决定了设备的性能表现和应用范围。
光学系统设计方面,该设备采用特定的干涉物镜配置。物镜的光学性能影响成像质量和测量精度,色差校正和像场平整度的控制是设计的考虑因素。光源的稳定性和光谱特性也会影响干涉信号的质量。这些光学设计的选择,关系到设备能够达到的分辨率和测量范围。
ZYGO 技术特点