真实的工业样品和科研样本,其表面特性往往复杂多变,给测量带来诸多挑战。样品可能同时包含光滑区域和粗糙区域,具有高反射的金属部分和低对比度的非金属部分,存在平坦的基底和陡峭的台阶,甚至是透明或半透明材质。面对这种复杂性,单一测量技术常常顾此失彼。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪的设计哲学,正是为了更有准备地应对这些复杂的测量局面。
Sensofar S neox应对复杂性的核心wu器,是其集成的多模式测量能力和智能化的测量策略。当用户面对一个特性未知或跨区域的复杂样品时,无需预先费力判断哪个区域该用哪种技术。一种方式是使用系统的智能扫描功能,在选定区域,系统可以自动尝试不同的照明和探测策略,评估信号质量,并选择或融合zui适he该局部区域的技术来获取数据。这好比为测量系统赋予了基础的“适应"能力,使其能根据表面的“反馈"自行调整。
对于具有高动态范围(即同时存在极平坦和极陡峭特征)的样品,如MEMS器件或精密模具,Sensofar S neox的共聚焦模式凭借其层析成像原理,能够较好地解析陡峭侧壁的形貌。而其干涉模式则能精确测量平坦区域的纳米级起伏。两者结合,可以更完整地捕捉复杂三维结构的全部几何信息。
对于透明或半透明薄膜样品的表面测量,由于下层界面的反射光会产生干扰,形成所谓的“寄生干涉",给测量带来困难。Sensofar S neox通过其算法处理能力和特定的测量模式(如PSI、VSI的结合使用),可以在一定程度上抑制或分离这种干扰信号,从而更准确地获取薄膜上表面的形貌。虽然这仍是光学测量的挑战之一,但多技术平台提供了更多应对的工具和可能性。
因此,面对复杂样品,Sensofar S neox提供的不是一种固定的解决方案,而是一个包含多种工具和策略的“工具箱"及一定的“自适应"能力。用户不再需要为每一种特殊样品寻找一台专用设备,而是在很大程度上,可以借助这一台集成化设备,通过调整测量策略来尝试解决。这降低了对操作人员预判能力的过度依赖,增加了首ci测量成功率,也扩展了单台设备的应用覆盖范围,使其能够服务于多品种、小批量、高混合度的研发或复杂产品的质检场景。