S neox共聚焦白光干涉的表面观测方案
从毫米级的部件轮廓到纳米级的表面纹理,现代产品的质量控制与研发创新需要跨越多个尺度的表面信息。单一的测量技术往往难以兼顾大范围扫描的高效率与微观细节的高分辨率。Sensofar S neox 3D光学轮廓仪通过其集成的多模式光学系统,旨在提供一种能够适应不同空间尺度测量需求的解决方案。
S neox平台的核心设计理念之一是测量灵活性与数据完整性。它集成的共聚焦和白光干涉技术,本质上覆盖了从亚纳米到毫米级的垂直测量范围,以及相应的横向分辨率。用户可以根据感兴趣的特征尺寸和表面特性,选择最合适的物镜和测量模式。例如,需要快速评估一个几毫米见方区域的整体平整度时,可以选择低倍物镜结合白光干涉模式进行快速扫描。而当需要深入分析该区域内某个微小区域的亚微米级纹理或缺陷时,则可以无缝切换到高倍物镜的共聚焦模式进行高分辨率测量。这种无缝切换的能力,使得用户无需移动样品或更换设备,就能获得从宏观到微观的连贯数据。
为了进一步扩展观测尺度,S neox系统通常支持图像拼接功能。无论是通过共聚焦还是白光干涉模式,都可以将多个相邻视场的测量数据自动拼接在一起,生成远超单个视场范围的大面积三维形貌图。这对于需要统计分析的表面(如均匀性评估)或测量跨越多个视场的特定特征(如长划痕或大台阶)非常有用。拼接后的数据保持了高分辨率,使得用户既能纵览全局,又能放大观察任一局部细节。
这种跨越尺度的能力在多个行业都有实际应用。在精密加工领域,一个零件可能同时存在需要控制的宏观几何形状(如曲率半径、平面度)和微观表面光洁度。S neox可以在一套系统上完成这两类参数的测量与关联分析。在功能性涂层或表面处理行业,涂层的有效性可能体现在纳米到微米级的表面结构变化上,但其影响范围可能是整个部件。通过大范围拼接测量,可以分析涂层处理的均匀性和一致性。在学术研究中,观察材料从微观组织到宏观性能的关联时,多尺度的表面形貌数据能够提供更丰富的线索。
除了静态的形貌测量,系统的软件分析工具也支持多尺度的参数提取。用户可以在整个扫描区域上计算整体粗糙度,也可以在指定的局部感兴趣区域(ROI)内分析更精细的纹理参数。这种灵活的数据处理方式,使得测量结果能够更精准地服务于特定的分析目的。
此外,系统的自动化功能,如自动对焦、自动光强调节、多点位自动测量等,保障了在不同尺度、不同区域进行重复测量时的稳定性和效率,这对于生产环境下的质量控制尤为重要。
因此,Sensofar S neox光学轮廓仪可以被视为一个多功能的表面观测平台。它通过集成多种光学技术、支持多尺度扫描与拼接、以及提供强大的分析软件,帮助用户打破测量尺度的限制,更全面、更高效地获取产品表面从宏观轮廓到微观纹理的完整三维信息,为深入理解表面特性与其功能之间的关系提供了有效的工具。
S neox共聚焦白光干涉的表面观测方案