Sensofar表面光学轮廓仪S lynx 2干涉测量

在现代制造与科研领域，表面形貌的精确测量已成为提升产品质量、优化工艺流程、推动新材料研发的关键环节。随着工业4.0和智能制造的不断推进，对表面测量设备的精度、效率和智能化水平提出了更高的要求。在此背景下，西班牙Sensofar公司推出的S lynx 2三维表面光学轮廓仪，凭借其创新的技术架构和性能表现，成为表面测量领域的。

一、产品概述

Sensofar S lynx 2是一款基于非接触式光学测量技术的三维表面轮廓仪，广泛应用于半导体、微电子、光学器件、医疗器械、汽车零部件、航空航天等多个高精度制造领域。该设备采用共聚焦、干涉测量与AI多焦面叠加三种技术的融合设计，实现了对不同表面特性（如光滑、中等粗糙、高粗糙）的全覆盖测量能力，满足了从纳米级到微米级的多样化测量需求。

二、核心技术与创新点

1. 多技术融合，实现全面覆盖

S lynx 2的核心优势在于其三重测量技术的集成，即：

共聚焦技术：提供高横向分辨率（0.09 μm），适用于光滑表面的高精度测量；

干涉测量技术：提供纳米级纵向分辨率，适用于中等粗糙度表面的精细测量；

AI多焦面叠加技术：通过人工智能算法优化多焦面数据，实现高斜率（高达86°）表面的快速测量。

这种多技术融合的架构，使得S lynx 2能够在不同材料和表面条件下实现优良的测量效果，无需更换传感器或调整参数，大大提升了测量效率和灵活性。

2. 紧凑设计，适应性强

S lynx 2采用紧凑型设计，体积小巧，便于在狭小空间或移动设备上使用。其超长工作距离设计，使其在复杂环境中也能保持稳定的工作状态，适用于多种测量场景，包括在线检测、实验室研究和现场应用。

3. 智能化操作与数据分析

S lynx 2配备了SensoSCAN ML软件，支持一键式3D测量，用户只需简单操作即可完成复杂的测量任务。软件界面友好，支持多种参数设置，用户可根据具体需求进行优化调整。此外，SensoVIEW分析软件提供了强大的数据处理功能，支持3D/2D数据提取、粗糙度、体积、关键尺寸等参数的计算，并可生成自定义报告，导出为多种格式（如Excel、PDF等），便于数据的进一步分析与共享。

三、硬件配置与性能表现

1. 高精度运动系统

S lynx 2配备了高精度电动Z轴与手动XY平台，支持快速对焦与样品定位，确保测量过程的稳定性和重复性。其内置计算功能，结合PC的强大计算能力，实现了快速的数据处理与分析，提升了整体测量效率。

2. 多种物镜选择

为满足不同测量需求，S lynx 2支持多种物镜选择，用户可根据具体应用场景选择合适的物镜，以获得优良的测量效果。例如，高倍物镜适用于微小区域的精细测量，而广角物镜则适用于大面积表面的快速扫描。

3. 高精度与高效率的平衡

S lynx 2在测量精度与效率之间取得了良好的平衡。其纳米级纵向分辨率和微米级横向分辨率，使其在高精度测量方面表现出色；而AI多焦面叠加技术则显著提升了测量速度，尤其适用于高粗糙度表面的快速扫描。

四、典型应用领域

1. 半导体与微电子行业

在半导体制造中，S lynx 2被广泛用于晶圆、光刻胶、刻蚀层等表面的三维形貌测量。其高精度和高分辨率的测量能力，有助于检测微结构的表面质量，确保器件性能的稳定性。

2. 医疗器械与生物材料

在医疗器械制造中，S lynx 2可用于植入式器件、手术器械、生物传感器等表面的测量。其对高粗糙度和复杂几何形状的适应能力，使其成为生物医学工程研究的重要工具。

3. 汽车与航空航天

在汽车零部件制造中，S lynx 2可用于发动机缸体、涡轮叶片、刹车盘等表面的测量，确保其表面质量符合严格的工程标准。在航空航天领域，其高精度测量能力也适用于复合材料、涂层、热防护层等的表面分析。

4. 光学与精密仪器

在光学器件制造中，S lynx 2可用于透镜、反射镜、棱镜等表面的三维形貌测量，确保光学性能的稳定性。此外，其在精密仪器制造中的应用也十分广泛，如显微镜、激光器、传感器等。

五、市场表现与用户反馈

Sensofar作为表面测量技术公司，其产品在国际市场上享有声誉。S lynx 2自推出以来，凭借其性能和灵活的应用能力，赢得了众多用户的青睐。用户普遍反馈其操作简便、测量准确、数据处理能力强，尤其在高精度测量和复杂表面处理方面表现出色。

六、总结

Sensofar S lynx 2是一款集成了多种*测量技术的高性能三维表面轮廓仪，适用于从纳米级到微米级的多种表面测量需求。其紧凑的设计、智能化的操作界面、强大的数据分析能力，使其成为工业制造与科研领域的理想选择。无论是半导体、医疗器械，还是航空航天、精密仪器，S lynx 2都能提供可靠、高效、精准的测量支持，助力用户实现高质量的表面测量与工艺优化。

Sensofar表面光学轮廓仪S lynx 2干涉测量