sensofar白光干涉仪：检测薄膜厚度

西班牙Sensofar公司推出的S neox共聚焦模式白光干涉仪，是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面叠加技术的三维光学轮廓仪，广泛应用于科研、质量检测和生产过程控制等领域。该设备以其高精度、多功能性和非接触式测量特性，成为表面形貌测量领域的。

一、S neox共聚焦模式的核心特点

1. 共聚焦模式

共聚焦模式是S neox的核心功能之一，其主要优势在于提供高横向分辨率（可达0.10μm），适用于临界尺寸测量。该模式通过共聚焦显微镜技术，能够实现对光滑表面的高精度测量，并且在测量过程中无需移动部件，从而确保了测量的稳定性和重复性。此外，S neox采用高数值孔径（NA=0.95）和高放大倍率（150X和200X）的物镜，能够测量斜率超过70°的表面，适用于高陡表面的测量

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2. 真彩色共聚焦图像

S neox在共聚焦模式下，能够生成真彩色图像，每个像素点还原真实色彩，色彩保真度高。这种技术通过红、绿、蓝三色LED交替照明，并将三张单色图像合成一幅高分辨率的彩色图像，相比其他品牌采用像素插值算法的方式，S neox的图像质量更胜。

3. 超清晰细节

S neox配备了高分辨率摄像头（2560x1440像素），能够呈现共聚焦图像的超清晰细节，使用户能够清晰地观察表面的微小结构

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二、S neox的多技术融合

S neox不仅具备共聚焦模式，还集成了干涉和多焦面叠加技术，使其在不同应用场景中具有灵活性和适应性。

1. 干涉模式

干涉模式提供亚纳米级精度的纵向分辨率，适用于光滑表面的高度测量。该模式通过白光干涉技术，能够测量纳米级的表面形貌，适用于各种光滑表面的测量。此外，S neox还支持多波长LED光源（红、绿、蓝、白），以满足不同应用需求

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2. 多焦面叠加模式

多焦面叠加模式是S neox的一大亮点，它能够在短时间内完成对非常粗糙表面的测量。该模式通过快速扫描和大扫描范围，能够测量斜率高达86°的表面，适用于工件和模具的测量。此外，该模式还支持AI算法，能够自动合并多个焦面的图像，生成完整的3D表面形貌

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3. 无运动部件设计

S neox的测量头内无运动部件，采用Microdisplay共聚焦扫描技术，避免了机械振动带来的测量误差。这种设计不仅提高了测量的稳定性，还延长了设备的使用寿命

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三、S neox的应用领域

S neox因其高精度和多功能性，被广泛应用于多个领域，包括但不限于：

半导体制造：用于测量晶圆的表面粗糙度、台阶高度和孔内深度。

生物医学：用于测量生物材料的表面形貌和纳米压力传感器的初始偏转。

微电子与电子消费产品：用于测量微通道、激光结构和功能纹理。

古生物学：用于分析工具的使用痕迹和微磨损。

能源与汽车：用于测量电池表面纹理和模具尺寸。

四、S neox的技术优势

高精度：S neox在共聚焦模式下提供0.10μm的横向分辨率，干涉模式下提供亚纳米级的纵向分辨率，多焦面叠加模式下提供纳米级的测量精度。

高速度：S neox的数据采集速度可达180 fps，是市场上速度最快的表面测量系统之一

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多功能性：S neox支持多种测量模式，能够适应不同类型的表面形貌测量需求。

非接触式测量：S neox采用非接触式测量技术，避免了对样品的损伤，适用于各种敏感材料的测量

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用户友好：S neox配备了SensoSCAN、SensoPRO和SensoMAP等软件，提供直观的操作界面和强大的数据分析功能

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五、S neox的市场表现与支持

S neox自推出以来，因其性能和可靠性，受到了全球用户的广泛认可。Sensofar公司作为共聚焦干涉显微镜的发明者，将共聚焦和干涉技术结合，无需额外硬件即可自动切换模式，使客户能够同时拥有共聚焦显微镜和干涉仪的功能。此外，S neox还提供整机质保期1年，安装调试现场免费培训，电话支持响应时间24小时内，维修响应时间3天内，以及维保合同等售后服务。

六、总结

西班牙Sensofar的S neox共聚焦模式白光干涉仪是一款集成了共聚焦、干涉和多焦面叠加技术的三维光学轮廓仪，以其高精度、多功能性和非接触式测量特性，成为表面形貌测量领域的。无论是科研机构还是工业生产领域，S neox都能提供测量解决方案，满足各种复杂的应用需求

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