产品概述

ZYGO Qualifire系列是美国ZYGO公司推出的高性能激光干涉仪产品，专为光学元件和光学系统的快速、精确测量而设计。作为全球光学计量领域的，ZYGO的Qualifire系列结合了优良的激光干涉技术和用户友好的操作界面，为光学制造、科研和质量控制提供了可靠的测量解决方案。美国ZYGOQualifire干涉仪

核心技术与特点

1. 高精度测量能力

• 采用稳定的He-Ne激光源，波长稳定性达±0.05ppm

• 波前测量精度优于λ/20 (λ=632.8nm)

• 相位测量分辨率达到λ/1000

2. 模块化设计

• 可配置多种传输镜头和适配器

• 支持平面、球面和非球面光学元件的测量

• 灵活的系统扩展能力，可集成自动对准系统

3. 快速测量

• 的动态干涉技术(Dynamic Interferometry®)

• 单次采集时间可短至1/60秒

• 振动不敏感设计，适合生产车间环境

4. 智能分析软件

• MetroPro®专业分析软件平台

• 自动化测量流程和报告生成

• 符合ISO和MIL标准的数据分析功能

主要应用领域

• 光学制造：透镜、反射镜、棱镜等光学元件的面形检测

• 精密工程：机械零件平面度、平行度测量

• 半导体工业：光刻机光学系统检测

• 科研机构：天文望远镜、激光系统等大型光学装置检测

• 质量控制：生产线上的快速光学元件检测

产品系列

Qualifire系列包含多个型号，满足不同应用需求：

1. Qualifire® Classic：基础型号，适用于大多数平面和球面光学检测

2. Qualifire® Asphere：配备专用软件和硬件，支持非球面测量

3. Qualifire® IR：红外版本，支持中红外光学元件检测

4. Qualifire® Fizeau：斐索型干涉仪，用于高精度绝对测量

技术优势

ZYGO Qualifire系列相比传统干涉仪具有显著优势：

1. 环境适应性：优良的振动补偿技术，降低了对隔震平台的要求

2. 操作简便：直观的用户界面，缩短了操作人员培训时间

3. 测量效率：快速采集和分析能力，大幅提高检测吞吐量

4. 数据可靠性：经过验证的测量算法，确保数据的一致性和可追溯性

服务与支持

ZYGO为Qualifire用户提供全面的技术支持：

• 全球服务网络

• 定期校准服务

• 软件升级和维护

• 应用工程师技术支持

结语

ZYGO Qualifire激光干涉仪代表了现代光学计量技术的优良水平，其的性能和可靠性使其成为光学制造和质量控制领域的理想选择。无论是研发实验室还是批量生产环境，Qualifire系列都能提供精确、高效的测量解决方案，帮助用户提升产品质量和生产效率。美国ZYGOQualifire干涉仪