西班牙Sensofar共聚焦白光干涉仪：高精度表面测量的革命性工具

在现代工业制造、科研实验和质量控制领域，高精度的表面形貌测量至关重要。无论是半导体、光学元件、精密加工，还是生物医学和材料科学研究，都需要高分辨率、高重复性的测量手段。西班牙Sensofar公司推出的共聚焦白光干涉仪（Confocal White Light Interferometer）凭借其超高精度、快速测量和多功能性，成为全球表面测量技术的选择。Sensofar高精度表面测量的革命性工具

Sensofar高精度表面测量的革命性工具

（1）共聚焦技术与白光干涉的结合

Sensofar的共聚焦白光干涉仪结合了共聚焦显微镜和白光干涉技术的优势，能够在不同应用场景下实现测量：

• 共聚焦模式：适用于高反射率或透明材料的表面测量，可提供高分辨率3D形貌数据。

• 白光干涉模式：适合超光滑表面（如光学镜片、晶圆）的纳米级粗糙度测量。

• 混合模式：可智能切换，适应不同材料特性，确保测量结果的准确性。

（2）超高分辨率与测量速度

• 垂直分辨率：可达0.1 nm，适用于纳米级表面分析。

• 横向分辨率：光学系统优化，可达到衍射极限，确保微小结构的清晰成像。

• 高速扫描：采用优良的压电陶瓷驱动技术，单次测量仅需数秒，大幅提升检测效率。

（3）智能软件与自动化分析

Sensofar配备SensoMAP专业分析软件，支持：

• 3D形貌重建

• 粗糙度（Ra, Rz, Sa, Sz等参数）自动计算

• 台阶高度、薄膜厚度测量

• 批量自动化检测，适合生产线集成

2. 主要应用领域

（1）半导体与微电子制造

• 晶圆检测：测量刻蚀深度、CMP（化学机械抛光）后的表面平整度。

• MEMS器件：分析微机电系统的3D结构，确保工艺一致性。

（2）光学元件与精密加工

• 透镜、反射镜：检测表面粗糙度，确保光学性能。

• 超精密模具：测量刀具磨损、加工纹理，优化制造工艺。

（3）生物医学与材料科学

• 生物材料表面：如人工关节、牙科植入物的粗糙度分析。

• 涂层与薄膜：测量厚度、均匀性，评估材料性能。

（4）汽车与航空航天

• 发动机部件：检测活塞、涡轮叶片的表面质量。

• 复合材料：分析纤维增强材料的微观结构。

3. 为什么选择Sensofar共聚焦白光干涉仪？

（1）技术水平

Sensofar是光学3D表面测量领域的，其设备广泛应用于ASML、蔡司、三星等优良企业。

（2）模块化设计，灵活适配不同需求

用户可根据需求选择：

• 不同放大倍率的物镜（2.5X~150X）

• 电动载物台，实现自动化测量

• 环境隔振系统，确保实验室级精度

（3）售后服务与技术支持

Sensofar在全球设有技术支持中心，提供：

• 设备安装与培训

• 定期校准与维护

• 软件升级与定制化开发

4. 成功案例

案例1：某国际半导体公司提升晶圆检测效率

该公司采用Sensofar S neox系列干涉仪，将晶圆表面检测速度提升300%，同时减少人工误差，良品率提高15%。

案例2：光学镜头制造商优化抛光工艺

通过Sensofar设备的实时监测，该企业成功优化CMP工艺，将镜头表面粗糙度控制在0.5 nm以下，达到相机镜头的标准。

5. 未来展望

随着智能制造、纳米技术的快速发展，高精度表面测量的需求将持续增长。Sensofar不断推进技术创新，未来将整合AI智能分析、云端数据管理等功能，为用户提供更智能、高效的测量解决方案。

西班牙Sensofar共聚焦白光干涉仪凭借高精度、高速度、多功能性，已成为工业检测和科学研究的理想工具。无论是半导体、光学、生物医学，还是精密制造行业，它都能提供可靠的测量数据，助力企业提升产品质量、优化生产工艺。

如果您正在寻找高精度表面测量解决方案，

西班牙Sensofar共聚焦白光干涉仪无疑是您的选择！