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PRODUCTS CNTERSensofar S neox 光学轮廓测量系统技术解析Sensofar S neox 是一款多功能光学轮廓测量系统,适用于微纳米尺度表面形貌分析需求。该系统采用模块化设计理念,可满足半导体、精密光学和材料科学等领域的表面测量要求。
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Sensofar S neox 是一款多功能光学轮廓测量系统,适用于微纳米尺度表面形貌分析需求。该系统采用模块化设计理念,可满足半导体、精密光学和材料科学等领域的表面测量要求。Sensofar S neox 光学轮廓测量系统
• 集成共聚焦显微镜、干涉仪和白光垂直扫描三种测量技术
• 智能模式自动识别功能
• 垂直分辨率可达亚纳米级
• 水平分辨率最高0.5微米
• 高数值孔径物镜组
• 自动对焦与样品导航系统
• 多视野无缝拼接功能
• 可选配不同放大倍率物镜
• 自动表面参数计算
• 三维形貌可视化分析
• 多区域对比测量功能
• 自定义分析模板设置
半导体器件表面缺陷检测
光学元件面形精度测量
MEMS器件三维形貌表征
功能性涂层表面分析
材料科学研究与质量检测
• 建议在稳定环境条件下使用
• 测量前进行系统校准
• 根据样品特性选择测量模式
• 特殊样品可能需要参数优化
Sensofar提供以下专业服务:
系统安装与操作培训
测量方法开发指导
定期维护校准支持
软件功能升级服务
Sensofar S neox 通过其多技术融合的测量能力和智能化分析功能,为表面形貌表征提供了灵活的解决方案,适用于需要高精度表面分析的研发和质量控制场景。Sensofar S neox 光学轮廓测量系统