Sensofar S neox“四维协同”重塑微观世界

一、产品定位：跨尺度表面形貌分析的“全能选手"

作为Sensofar第五代干涉共焦显微镜，S neox系列突破传统单一技术局限，通过共聚焦扫描、白光干涉、相位差干涉、AI多焦面融合四大模式协同工作，实现从粗糙表面（Ra>10μm）到超光滑表面（Ra<0.1nm）的全场景覆盖。Sensofar S neox“四维协同"重塑微观世界其核心价值在于：

• 一机多用：无需硬件更换，软件一键切换测量模式，降低设备采购成本；

• 智能自适应：根据样品特性自动优化光源波长、入射角度及算法，减少人工干预；

• 抗干扰设计：搭载实时环境补偿算法（REC），在普通实验室振动条件下（>100nm）仍可稳定输出数据。

二、产品性能：技术参数定义

1. 核心参数表

2. 技术突破亮点

• Microdisplay共焦技术：扫描头内无运动部件，消除机械振动对精度的干扰，寿命提升至10万小时；

• 连续共聚焦扫描：通过同步面内与Z轴扫描，将传统共聚焦速度提升3倍，15×15mm区域扫描仅需42秒；

• 三波长干涉场重建：单次扫描同步获取表面形貌、膜厚分布（0.1nm分辨率）、材料折射率及真色彩光学特征。

三、用材与工艺：工业级可靠性保障

• 光学系统：采用德国肖特超低色散玻璃与日本滨松高功率LED光源，光路稳定性优于λ/20（波长/20）；

• 机械结构：航空级铝合金框架搭配大理石基座，抗振动干扰能力提升50%，适应洁净车间、生产线等复杂环境；

• 防护设计：IP54防护等级，关键部件（如物镜、电动平台）采用密封设计，通过ISTA 3A运输测试标准。

四、应用场景：跨行业解决方案

1. 半导体制造

• 检测晶圆表面亚表面损伤层厚度，定位精度达0.5μm；

• 评估刻蚀均匀性，支持米级长度在线全检。

2. 新能源电池

• 非接触式测量极片涂层厚度一致性，避免探针划伤风险；

• 实时监测隔膜微孔结构，优化电解液浸润效率。

3. 生物医学

• 分析人工关节羟基磷灰石涂层的孔隙率与结晶度，预测植入物寿命；

• 捕捉细胞培养基底表面形貌对细胞生长的影响（如干细胞分化导向）。

4. 航空航天

• 测量涡轮叶片表面粗糙度（Ra=8.3μm），量化喷砂处理工艺参数；

• 检测复合材料内部缺陷（如分层、孔隙），支持CT数据融合分析。

五、包装与运输：安全交付的“全流程防护"

• 定制化包装：高密度泡沫内衬+防震木箱，通过ISTA 3A运输测试，确保设备在长途运输中免受冲击；

• 配件清单：标准物镜套装（2.5×-100×）、校准样块、SensoSCAN软件授权、操作手册与快速指南；

• 可选配模块：12英寸自动晶圆台、高温原位测量舱（最高800℃）、五轴旋转台。

六、使用说明：从开箱到测量的“三步闭环"

1. 安装调试：由Sensofar认证工程师提供现场安装与光路校准服务，确保设备达到出厂精度标准（纵向精度±0.5nm）；

2. 操作培训：通过线上课程与线下实操结合，覆盖软件参数设置、测量模式选择、数据分析报告生成等全流程；

3. 日常维护：提供每日清洁、季度校准、年度保养的标准化流程，延长设备使用寿命。

结语：S neox——微观世界的“通用语言"

从哈佛大学量子点薄膜的原子级堆叠分析，到特斯拉超级工厂每分钟30个电池极片的涂层厚度检测，Sensofar S neox正以“四维协同"技术重新定义表面测量标准。其价值不仅在于数据精度，更在于将不可见转化为可量化，将经验判断升维至数据决策——这正是工业4.0时代对微观分析的核心需求。Sensofar S neox“四维协同"重塑微观世界