当前位置：
相关文章
上一个：
返回列表
服务热线：
公司地址：
公司邮箱：
服务热线
17701039158
产品中心
PRODUCTS CNTER
产品简介
Sensofar白光干涉仪高分辨表面分析解决方案Sensofar白光干涉仪采用优良的光学干涉技术，为微纳米级表面形貌测量提供可靠解决方案，广泛应用于半导体、精密制造和材料科学研究领域。
产品分类
Sensofar白光干涉仪采用优良的光学干涉技术，为微纳米级表面形貌测量提供可靠解决方案，广泛应用于半导体、精密制造和材料科学研究领域。Sensofar白光干涉仪高分辨表面分析解决方案
非接触式测量：避免样品损伤
多模式检测：支持白光干涉、共聚焦和相移干涉模式
大范围测量：Z轴测量范围可达数毫米
快速扫描：单次测量时间可控制在秒级
光学系统：高精度物镜组，可选2.5X-100X多种倍率
机械结构：大理石基座配合精密导轨，确保稳定性
探测系统：高灵敏度CCD传感器
| 型号 | S neox | S mart |
|---|---|---|
| 垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
| 水平分辨率 | 0.5μm | 1μm |
| 测量速度 | 5秒/次 | 10秒/次 |
| 最大样品尺寸 | 200mm | 150mm |
| 工作距离 | 20-80mm | 15-50mm |
半导体晶圆表面缺陷检测
MEMS器件三维形貌分析
光学元件表面质量评估
金属材料粗糙度测量
样品准备：确保待测表面清洁无污染
参数设置：根据样品特性选择合适的光学模式和放大倍率
自动对焦：使用软件自动对焦功能获取清晰图像
数据分析：通过配套软件进行三维重建和参数计算
定期清洁光学元件
保持工作环境温湿度稳定
避免震动和强磁场干扰
结语：
Sensofar白光干涉仪以可靠的测量性能和灵活的应用配置，为工业检测和科研工作提供有力支持。如需了解更多技术细节或测试服务，欢迎联系当地技术支持团队。Sensofar白光干涉仪高分辨表面分析解决方案