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PRODUCTS CNTERZygo光学轮廓仪:微纳表面测量方案Zygo白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术,为微纳米级表面形貌检测提供有效解决方案,适用于半导体、光学元件和精密制造等领域。
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Zygo光学轮廓仪:微纳表面测量方案 Zygo白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术,为微纳米级表面形貌检测提供有效解决方案,适用于半导体、光学元件和精密制造等领域。
多模式测量:支持白光干涉和相移干涉模式
宽范围测量:垂直测量范围可达10mm
快速扫描:单次测量时间可控制在秒级
高重复性:测量结果稳定可靠
光学系统:高精度干涉物镜组
机械平台:花岗岩基座配合空气隔振
探测系统:高分辨率CCD传感器
控制系统:模块化电子系统
型号 | NewView 9000 | NewView 7000 |
---|---|---|
垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
水平视场 | 0.1-10mm | 0.2-8mm |
测量速度 | 5秒/次 | 10秒/次 |
最大样品高度 | 150mm | 100mm |
物镜选项 | 2.5X-100X | 5X-50X |
晶圆表面缺陷检测
光学镜面面形测量
MEMS器件三维形貌分析
材料表面粗糙度评估
样品准备:确保待测表面清洁无污染
参数设置:选择合适的光学模式和放大倍率
自动对焦:使用软件辅助对焦功能
开始测量:启动自动扫描程序
数据分析:通过配套软件处理测量结果
定期清洁光学元件
保持实验室环境稳定
避免设备受到振动影响
定期进行设备校准
结语:
Zygo光学轮廓仪以可靠的测量性能,为工业检测和科研工作提供支持。如需了解更多信息,欢迎咨询专业技术团队。Zygo光学轮廓仪:微纳表面测量方案