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PRODUCTS CNTERZygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量Zygo白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术,为微纳米级表面形貌检测提供有效解决方案,适用于半导体、光学元件和精密制造等领域。
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Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量 Zygo白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术,适用于微米至纳米级表面形貌分析,满足半导体、光学元件、精密制造等领域的高精度检测需求。Zygo白光干涉光学轮廓仪:微纳表面精密测量 Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量
•测量范围:垂直分辨率0.1nm,横向分辨率1μm
•多模式测量:支持白光干涉、相移干涉等多种测量模式
•快速扫描:高速数据采集,提高检测效率
•大视场兼容:适配2.5X-100X物镜,支持不同尺寸样品测量
•光学系统:高稳定性干涉光路设计
•精密载物台:电动控制,定位精度高
•分析软件:提供3D形貌重建、粗糙度分析等功能模块
型号 | NewView 9000 | NewView 7000 |
---|---|---|
垂直分辨率 | 0.1nm | 0.5nm |
横向分辨率 | 1μm | 2μm |
最大视场 | 10×10mm | 5×5mm |
扫描速度 | 可选高速模式 | 标准模式 |
•半导体晶圆表面缺陷检测
•光学镜片面形测量
•MEMS器件三维形貌分析
•材料表面粗糙度表征
1.样品准备:确保表面清洁,避免强反射干扰
2.模式选择:根据样品特性选择合适测量模式
3.参数设置:调整扫描范围和分辨率
4.数据分析:通过软件进行3D重建和参数计算
Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量