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Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量​

产品简介

Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量​
Zygo白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术,为微纳米级表面形貌检测提供有效解决方案,适用于半导体、光学元件和精密制造等领域。

产品型号:
更新时间:2025-08-25
厂商性质:代理商
访问量:68
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产品概述

Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量  Zygo白光干涉光学轮廓仪采用非接触式测量技术,适用于微米至纳米级表面形貌分析,满足半导体、光学元件、精密制造等领域的高精度检测需求。Zygo白光干涉光学轮廓仪:微纳表面精密测量 Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量

核心性能

  • 测量范围:垂直分辨率0.1nm,横向分辨率1μm

  • 多模式测量:支持白光干涉、相移干涉等多种测量模式

  • 快速扫描:高速数据采集,提高检测效率

  • 大视场兼容:适配2.5X-100X物镜,支持不同尺寸样品测量

用材与结构

  • 光学系统:高稳定性干涉光路设计

    精密载物台:电动控制,定位精度高

  • 分析软件:提供3D形貌重建、粗糙度分析等功能模块

参数表

型号

NewView 9000

NewView 7000

垂直分辨率

0.1nm

0.5nm

横向分辨率

1μm

2μm

最大视场

10×10mm

5×5mm

扫描速度

可选高速模式

标准模式

Zygo白光干涉光学轮廓仪主要用途

  • 半导体晶圆表面缺陷检测

    光学镜片面形测量

  • MEMS器件三维形貌分析

  • 材料表面粗糙度表征

使用说明

1.样品准备:确保表面清洁,避免强反射干扰

2.模式选择:根据样品特性选择合适测量模式

3.参数设置:调整扫描范围和分辨率

4.数据分析:通过软件进行3D重建和参数计算

Zygo白光干涉光学轮廓仪微纳表面精密测量


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